[實(shí)用新型]植球芯片脫模工具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202223027666.5 | 申請日: | 2022-11-14 |
| 公開(公告)號: | CN219123201U | 公開(公告)日: | 2023-06-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 覃洪文;劉賢芬 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市達(dá)泰豐科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68;H01L21/60 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市光明*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 芯片 脫模 工具 | ||
1.植球芯片脫模工具,包括支撐底板(8),其特征在于:所述支撐底板(8)的下端面安裝有兩個(gè)連接片(10),所述連接片(10)的內(nèi)側(cè)安裝有側(cè)邊連接立板(2),所述側(cè)邊連接立板(2)的下端面設(shè)有防滑齒條(11),兩個(gè)所述側(cè)邊連接立板(2)上端的內(nèi)側(cè)安裝有一個(gè)橫向定位板(3),所述支撐底板(8)的上端面安裝有下模板(14),所述下模板(14)的上端面安裝有九個(gè)芯片定位片(12),所述芯片定位片(12)的中部設(shè)有中心定位套(13),所述支撐底板(8)與下模板(14)四個(gè)端角的內(nèi)側(cè)安裝有八個(gè)定位柱(9),所述芯片定位片(12)的上端面安裝有脫模機(jī)構(gòu)(4),所述脫模機(jī)構(gòu)(4)包括橡膠套(5)、防護(hù)板(6)和分離插板(7),所述橡膠套(5)的內(nèi)側(cè)安裝有兩個(gè)防護(hù)板(6),兩個(gè)所述防護(hù)板(6)的內(nèi)側(cè)安裝有一個(gè)分離插板(7),其中一個(gè)所述防護(hù)板(6)的上端面安裝有上模板(1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植球芯片脫模工具,其特征在于:所述側(cè)邊連接立板(2)的上端貫穿連接片(10)套合在橫向定位板(3)兩端的外側(cè),所述側(cè)邊連接立板(2)與上模板(1)通過橫向定位板(3)連接,所述橫向定位板(3)與上模板(1)通過柱銷連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植球芯片脫模工具,其特征在于:所述側(cè)邊連接立板(2)的底端與連接片(10)通過螺釘連接固定,所述連接片(10)與支撐底板(8)焊接固定,所述防滑齒條(11)與側(cè)邊連接立板(2)的底端焊接固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植球芯片脫模工具,其特征在于:所述上模板(1)與下模板(14)通過脫模機(jī)構(gòu)(4)連接,所述下模板(14)的上端面設(shè)有凹槽,所述芯片定位片(12)設(shè)置在凹槽的內(nèi)側(cè),所述中心定位套(13)的底端貫穿芯片定位片(12)的中部通過螺紋與下模板(14)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植球芯片脫模工具,其特征在于:所述下模板(14)與支撐底板(8)通過定位柱(9)連接,所述防護(hù)板(6)與分離插板(7)通過橡膠套(5)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植球芯片脫模工具,其特征在于:所述防護(hù)板(6)與分離插板(7)的一端均設(shè)有三個(gè)U型槽,所述U型槽的寬度尺寸大于中心定位套(13)的外圓尺寸。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





