[實(shí)用新型]一種單晶爐熱場用水冷套升降裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223008847.3
• 申請日: 2022-11-11
• 公開（公告）號: CN218754814U
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張國華;李廣敏;張華芹;姚偉
• 申請（專利權(quán)）人: 上海韻申新能源科技有限公司
• 主分類號: B66F7/14
• 分類號: B66F7/14;B66F7/28
• 代理公司: 上海愉騰專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31306
• 代理人: 謝小軍

本實(shí)用新型提供了一種單晶爐熱場用水冷套升降裝置，所述水冷套設(shè)置于單晶爐熱場中，所述升降裝置包括絲杠升降機(jī)、直線導(dǎo)軌、安裝基座、升降平臺(tái)以及傳動(dòng)系統(tǒng)，所述安裝基座設(shè)于水冷套兩側(cè)，所述絲杠升降機(jī)、直線導(dǎo)軌和升降平臺(tái)設(shè)于安裝基座上，所述傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)于一側(cè)安裝基座上與該側(cè)絲杠升降機(jī)相連接，所述絲杠升降機(jī)通過傳動(dòng)系統(tǒng)與另一側(cè)絲杠升降機(jī)同步連接，所述傳動(dòng)系統(tǒng)通過電動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)與調(diào)節(jié)絲杠升降機(jī)，進(jìn)而控制升降平臺(tái)以實(shí)現(xiàn)水冷套的升降，調(diào)節(jié)拉晶過程中水冷套與液面的相對位置，使水冷套更靠近液面，加大晶體的縱向溫度梯度，提升拉制單晶的拉速。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及單晶爐熱場設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種單晶爐熱場用水冷套升降裝置。

背景技術(shù)

單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。

單晶爐熱場用水冷套的作用如下：在單晶硅拉制過程中，通過熱場用水冷套加快晶棒的冷卻速度，從而提高拉速，從而降低單晶硅的成本。一般的單晶爐，都沒有這種結(jié)構(gòu)，或者是采用固定式的熱場用水冷套，這種單晶爐熱場用水冷套對晶棒的冷卻效率不是很高，容易造成拉晶的速度不均勻等現(xiàn)象。要獲得更高的冷卻效率，使得晶棒拉晶速度均勻，需要使水冷套更接近液面，因此，亟需設(shè)計(jì)一種適用于單晶爐熱場用水冷套的升降裝置，以實(shí)現(xiàn)水冷套的升降。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于目前單晶爐熱場用水冷套對晶棒的冷卻效率不是很高，容易造成拉晶的速度不均勻的問題，本實(shí)用新型專利提供一種單晶爐熱場用水冷套升降裝置，通過安裝基座與水冷套連接，通過絲杠升降機(jī)、直線導(dǎo)軌、升降平臺(tái)以及傳動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)水冷套的升降，調(diào)節(jié)拉晶過程中水冷套與液面的相對位置，使水冷套更靠近液面，加大晶體的縱向溫度梯度，提升拉制單晶的拉速。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：

一種單晶爐熱場用水冷套升降裝置，所述水冷套設(shè)置于單晶爐熱場中，所述升降裝置包括絲杠升降機(jī)、直線導(dǎo)軌、安裝基座、升降平臺(tái)以及傳動(dòng)系統(tǒng)，所述安裝基座設(shè)于水冷套兩側(cè)，所述絲杠升降機(jī)、直線導(dǎo)軌和升降平臺(tái)設(shè)于安裝基座上，所述直線導(dǎo)軌上設(shè)有滑塊，通過滑塊與所述絲杠升降機(jī)、升降平臺(tái)相連接，所述傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)于一側(cè)安裝基座上與該側(cè)絲杠升降機(jī)相連接，所述絲杠升降機(jī)通過傳動(dòng)系統(tǒng)與另一側(cè)絲杠升降機(jī)同步連接。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述傳動(dòng)系統(tǒng)包括第一同步帶輪、同步帶、電磁離合器、超越離合器、減速機(jī)、伺服電機(jī)、手輪、第二同步帶輪以及撓性軸，所述絲杠升降機(jī)的輸入軸通過所述撓性軸與另一側(cè)絲杠升降機(jī)的輸入軸同步連接。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述第一同步帶輪、電磁離合器通過第一傳動(dòng)軸與絲杠升降機(jī)的輸入軸連接。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述電磁離合器通過第二傳動(dòng)軸、超越離合器與減速機(jī)的輸出端連接。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述伺服電機(jī)輸出軸與減速機(jī)的輸入端連接。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述手輪通過第三傳動(dòng)軸與所述第二同步帶輪連接。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述第一同步帶輪通過所述同步帶連接所述第二同步帶輪。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述水冷套包括進(jìn)水口管、出水口管、內(nèi)套以及外套，所述內(nèi)套與外套上下兩端密封配合形成內(nèi)腔，所述內(nèi)腔設(shè)有第一導(dǎo)流板、第二導(dǎo)流板以及若干第三導(dǎo)流板，且所述第一導(dǎo)流板、第二導(dǎo)流板以及若干第三導(dǎo)流板將所述內(nèi)腔分隔形成供水流單向流動(dòng)的流道。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述進(jìn)水口管連接一側(cè)升降平臺(tái)，所述出水口管連接另一側(cè)升降平臺(tái)。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述絲桿升降機(jī)上設(shè)有絲杠，所述絲杠與所述滑塊固定連接。