[實(shí)用新型]一種用于擴(kuò)散爐的加熱裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222967357.X
• 申請(qǐng)日: 2022-11-08
• 公開（公告）號(hào): CN218723116U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉明利;王龍峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島賽爾微電子有限公司
• 主分類號(hào): F27B17/00
• 分類號(hào): F27B17/00;F27D11/02;F27D17/00;H01L21/67
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本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種用于擴(kuò)散爐的加熱裝置，解決了現(xiàn)有擴(kuò)散爐在新制品進(jìn)爐時(shí)回溫較慢的問題，其包括加熱組件，所述加熱組件位于擴(kuò)散爐殼體的頂端，擴(kuò)散爐殼體的內(nèi)部設(shè)置有與加熱組件相配合連接的爐體，加熱組件由加熱室、進(jìn)氣管、封閉閥門一、回氣管、封閉閥門二和耐高溫軸流風(fēng)機(jī)構(gòu)成，進(jìn)氣管的一端與加熱室的排氣端連接，進(jìn)氣管的另一端與爐體的進(jìn)氣端連接，封閉閥門一連接于進(jìn)氣管的一側(cè)，回氣管的一端通過耐高溫軸流風(fēng)機(jī)與加熱室的進(jìn)氣端連接，回氣管的另一端與爐體的排氣端連接，封閉閥門二連接于回氣管的一側(cè)；通過該加熱裝置能夠?qū)崿F(xiàn)在新制品進(jìn)爐后快速回溫，使得溫度迅速達(dá)到工作溫度，從而提高加工效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于擴(kuò)散爐的加熱裝置。

背景技術(shù)

擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。

在三氯氧磷液態(tài)擴(kuò)散工藝過程中，擴(kuò)散爐的反應(yīng)管內(nèi)溫度高達(dá)850-900度，采用固態(tài)氮化硼擴(kuò)散時(shí)，擴(kuò)散溫度更高，爐內(nèi)溫度達(dá)到950-1000度。而制品出爐時(shí)，要求出爐溫度降至750度甚至700度以下。降溫后制品出爐及新制品的進(jìn)爐時(shí)，爐門的打開狀態(tài)又會(huì)使得爐管內(nèi)的大量熱量從爐口散失，常使?fàn)t管內(nèi)溫度降至600度甚至更低。這樣再次進(jìn)行工藝時(shí)需要加熱(即對(duì)爐管進(jìn)行“回溫”)，使?fàn)t管內(nèi)的溫度達(dá)到工藝溫度。目前擴(kuò)散爐的“回溫”時(shí)間占整個(gè)工藝循環(huán)時(shí)間的比重很大，導(dǎo)致工藝時(shí)間過長(zhǎng)，生產(chǎn)效率和產(chǎn)能受到很大影響，成為提升生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本的瓶頸。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型提供一種用于擴(kuò)散爐的加熱裝置，有效的解決了現(xiàn)有擴(kuò)散爐在新制品進(jìn)爐時(shí)回溫較慢的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種用于擴(kuò)散爐的加熱裝置，包括加熱組件，所述加熱組件位于擴(kuò)散爐殼體的頂端，擴(kuò)散爐殼體的內(nèi)部設(shè)置有與加熱組件相配合連接的爐體，加熱組件由加熱室、進(jìn)氣管、封閉閥門一、回氣管、封閉閥門二和耐高溫軸流風(fēng)機(jī)構(gòu)成，進(jìn)氣管的一端與加熱室的排氣端連接，進(jìn)氣管的另一端與爐體的進(jìn)氣端連接，封閉閥門一連接于進(jìn)氣管的一側(cè)，回氣管的一端通過耐高溫軸流風(fēng)機(jī)與加熱室的進(jìn)氣端連接，回氣管的另一端與爐體的排氣端連接，封閉閥門二連接于回氣管的一側(cè)。

優(yōu)選的，所述加熱室由外保護(hù)層、聚氨酯隔熱層、陶瓷耐火層、金屬加熱層、高頻加熱線圈、第一電熱網(wǎng)、第二電熱網(wǎng)、第三電熱網(wǎng)和若干輔助導(dǎo)熱組件構(gòu)成，聚氨酯隔熱層連接于外保護(hù)層的內(nèi)側(cè)壁，陶瓷耐火層連接于聚氨酯隔熱層的內(nèi)側(cè)壁，金屬加熱層連接于陶瓷耐火層的內(nèi)側(cè)壁，高頻加熱線圈套設(shè)于金屬加熱層外側(cè)的中間位置，第一電熱網(wǎng)、第二電熱網(wǎng)、第三電熱網(wǎng)和輔助導(dǎo)熱組件均連接于金屬加熱層的內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述第一電熱網(wǎng)、第二電熱網(wǎng)和第三電熱網(wǎng)均為鐵鉻鋁合金材質(zhì)。

優(yōu)選的，所述輔助導(dǎo)熱組件由橫向?qū)嶂拓Q向?qū)嶂鶚?gòu)成，橫向?qū)嶂拓Q向?qū)嶂徊孢B接。

優(yōu)選的，所述橫向?qū)嶂拓Q向?qū)嶂囊粋?cè)均設(shè)置有若干導(dǎo)流錐體，橫向?qū)嶂⒇Q向?qū)嶂蛯?dǎo)流錐體均為鐵鉻鋁合金材質(zhì)。

優(yōu)選的，所述金屬加熱層和高頻加熱線圈均為銅材質(zhì)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

（1）、在工作中，通過設(shè)置由加熱室、進(jìn)氣管、封閉閥門一、回氣管、封閉閥門二和耐高溫軸流風(fēng)機(jī)構(gòu)成的加熱組件以及由外保護(hù)層、聚氨酯隔熱層、陶瓷耐火層、金屬加熱層、高頻加熱線圈、第一電熱網(wǎng)、第二電熱網(wǎng)、第三電熱網(wǎng)和輔助導(dǎo)熱組件構(gòu)成的加熱室能夠?qū)崿F(xiàn)在工作過程中進(jìn)行熱循環(huán)，無需將熱能排出，提高對(duì)熱能的利用率，從而降低能耗，同時(shí)能夠在開爐放入新制品后實(shí)現(xiàn)對(duì)爐體快速回溫，使得溫度快速達(dá)到工作溫度，從而能夠提高加工效率。

附圖說明