[實用新型]一種涂膠真空旋轉單元

有效

• 申請號: 202222953709.6
• 申請日: 2022-11-07
• 公開（公告）號: CN218298764U
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 趙明山
• 申請（專利權）人: 合肥開悅半導體科技有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 合肥律眾知識產權代理有限公司 34147
• 代理人: 趙娟

1.一種涂膠真空旋轉單元，包括旋轉電機(1)、以及通過密封機構設于所述旋轉電機(1)輸出軸(2)上的晶圓旋轉平臺(5)，其特征在于，所述密封機構包括設于所述輸出軸(2)上的限制筒(3)、設于所述晶圓旋轉平臺(5)下端端面中心位置上的連接筒(4)、以及設于所述限制筒(3)上的密封組件，所述連接筒(4)通過下端面開設的連接槽(10)套設于限制筒(3)上；

所述密封組件包括套設于限制筒(3)側面開設環形槽內的永磁體(9)、套設于限制筒(3)筒身位于所述永磁體(9)上方開設密封槽(6)內的密封圈(7)、以及注入到環形槽和密封槽(6)內的磁性液體。

2.根據權利要求1所述的一種涂膠真空旋轉單元，其特征在于：所述輸出軸(2)內開設有與連接槽(10)貫通的真空通道；所述連接槽(10)與晶圓旋轉平臺(5)上開設的吸附槽貫通。

3.根據權利要求1所述的一種涂膠真空旋轉單元，其特征在于：所述密封槽(6)的數量為兩個，且兩個所述密封槽(6)均位于永磁體(9)的上方。

4.根據權利要求1所述的一種涂膠真空旋轉單元，其特征在于：所述密封機構還包括固定限制筒(3)和連接筒(4)之間位置的限位件，所述限位件包括橫向設于連接槽(10)內且臨近晶圓旋轉平臺(5)位置的卡桿(11)，所述卡桿(11)與限制筒(3)頂端端面開設的卡槽(8)相匹配。

5.根據權利要求1所述的一種涂膠真空旋轉單元，其特征在于：所述密封機構還包括固定限制筒(3)和連接筒(4)之間位置的限位件，所述限位件包括兩根相互垂直且橫向設于連接槽(10)內且臨近晶圓旋轉平臺(5)位置的卡桿(11)，兩根相互垂直的卡桿(11)與限制筒(3)頂端端面開設的卡槽(8)相匹配，所述卡槽(8)的開口呈十字架結構。