[實用新型]氣體噴射器的安裝治具

有效

• 申請號: 202222944797.3
• 申請日: 2022-11-04
• 公開（公告）號: CN218576095U
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 郭茨良;張軍;謝強
• 申請（專利權）人: 上海鼎泰匠芯科技有限公司
• 主分類號: B25B27/00
• 分類號: B25B27/00
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 許丹

本申請涉及一種氣體噴射器的安裝治具包括相連接的入口段和導向段，入口段和導向段內的內部分別貫穿設有入口通道和導向通道，入口通道和導向通道同軸設置且相連通，入口通道的直徑沿朝向導向通道的方向逐漸減小，導向通道的直徑與第一圓柱段的外徑相適配，且導向段的長度大于第二圓柱段的長度；上述方案使得氣體噴射器進入安裝治具的入口通道簡單，氣體噴射器進入安裝治具之后，通過安裝治具逐漸在徑向上對氣體噴射器逐漸限位，使得氣體噴射器與通孔同軸，以便于安裝，避免安裝過程中氣體噴射器表面損壞，進而避免安裝氣體噴射器影響晶圓良率。

技術領域

本申請涉及半導體制造設備技術領域，特別是涉及一種氣體噴射器的安裝治具。

背景技術

半導體刻蝕設備安裝有氣體噴射器，用于經氣體管道的工藝氣體通過氣體噴射器的內圈和外圈進行分配。

在現有技術中，在半導體刻蝕設備安裝氣體噴射器時，沒有協助安裝的治具，主要依靠工程師的手感進行該作業。氣體噴射器多為石英或者陶瓷材料，石英或者陶瓷材料質地比較脆，容易損壞。在將氣體噴射器安裝至刻蝕設備的蓋板的安裝過程中，由于氣體噴射器與安裝孔之間的間隙小，沒有專用安裝治具輔助安裝氣體噴射器時，容易出現氣體噴射器損壞。例如：安裝過程中氣體噴射器和安裝孔的圓心不在同一直線上，或者安裝過程中氣體噴射器傾斜，氣體噴射器的外徑和通孔的內徑表面發生碰撞，容易損壞氣體噴射器，產生微粒落在晶圓的表面，導致晶圓產生中心缺陷，影響良率。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種氣體噴射器的安裝治具，旨在解決現有技術存在的安裝氣體噴射器時容易造成氣體噴射器表面損壞，進而影響晶圓良率的問題。

本申請提供一種氣體噴射器的安裝治具，用于輔助將氣體噴射器安裝至呈臺階孔的通孔，所述氣體噴射器包括同軸相連的第一圓柱段和第二圓柱段，且所述第一圓柱段的直徑大于所述第二圓柱段的直徑，所述第二圓柱段與所述通孔的小直徑段相適配，所述安裝治具包括相連接的入口段和導向段，所述入口段和導向段內的內部分別貫穿設有入口通道和導向通道，所述入口通道和所述導向通道同軸設置且相連通，所述入口通道的直徑沿朝向所述導向通道的方向逐漸減小，所述導向通道的直徑與所述第一圓柱段的外徑相適配，且所述導向段的外徑與所述通孔的大直徑段的內徑相適配，所述導向段的長度大于所述第二圓柱段的長度。

在其中一個實施例中，所述入口段的外徑大于所述導向段的外徑，以在所述入口段與所述導向段之間形成支撐面。

在其中一個實施例中，所述通孔的大直徑段內設有固定支架，所述固定支架的內部貫穿設有安裝通道，所述導向段的外徑與所述安裝通道的直徑相適配，所述導向段與所述固定支架間隙配合。

在其中一個實施例中，所述固定支架自所述通孔的臺階面延伸至伸出所述通孔的大直徑段外，所述支撐面支撐于所述固定支架上。

在其中一個實施例中，所述第二圓柱段鄰近所述第一圓柱段的一端套設有O型環，當所述氣體噴射器安裝到位時，所述O型環抵接于所述第一圓柱段與所述通孔的臺階面之間，所述固定支架與所述導向段的高度差不小于所述O型環的厚度。

在其中一個實施例中，所述固定支架與所述支撐面接觸的一端設有支撐平臺，所述支撐面和所述支撐平臺均與所述入口通道和所述導向通道的徑向方向平行。

在其中一個實施例中，所述入口段遠離所述導向段的一端設有環形固定件，所述環形固定件位于所述入口段的外周。

在其中一個實施例中，所述導向通道與所述第一圓柱段間隙配合。

在其中一個實施例中，當所述氣體噴射器安裝到位時，所述第一圓柱段遠離所述通孔的端面與所述安裝治具遠離所述通孔的端面在軸向上齊平。

在其中一個實施例中，所述安裝治具采用樹脂材料制成。