[實用新型]一種適配全自動鍵合機的專用鍵合夾具

有效

• 申請號: 202222939348.X
• 申請日: 2022-11-04
• 公開（公告）號: CN219163333U
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發明（設計）人: 駱鵬山;高燁飛
• 申請（專利權）人: 嘉興斯達微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 沈棟棟

本實用新型公開了一種適配全自動鍵合機的專用鍵合夾具，其特征在于，包括：底墊塊、壓板、若干壓爪；所述壓板安裝于所述底墊塊的上端，所述壓板上設有定位槽；若干所述壓爪上設有腰孔；若干所述壓爪通過螺栓和所述腰孔安裝于所述壓板，且若干所述壓爪的爪部位于所述定位槽內。通過對本實用新型的應用，提供了一種適配全自動鍵合機的專用鍵合夾具，壓板上設有不同規格的壓爪，能夠對不同尺寸和規格的鍵合品進行壓緊，一種夾具能夠對應多種鍵合品，有效的減少了生產成本，然后通過調節壓板上腰孔在螺栓上的安裝位置，對鍵合品進行壓緊，使用方法簡單快捷。

技術領域

本實用新型涉及夾具等相關技術領域，尤其涉及一種適配全自動鍵合機的專用鍵合夾具。

背景技術

鍵合是將兩片表面清潔、原子級平整的同質或異質半導體材料經表面清洗和活化處理，在一定條件下直接結合成為一體的一種技術，是物理學領域的一種技術。而鍵合機顧名思義就是為實現鍵合技術的一種設備。由于鍵合過程的兩個表面基本都是平整的，故當有一個或兩個表面在鍵合過程中有起伏情況(即抖動)時，會直接影響鍵合成功與否或影響鍵合強度。為了確保鍵合品質，往往要求被鍵合品穩固不能抖動，因此需要鍵合夾具。

但是現有的鍵合品的尺寸、大小、規格各不相同，因此需要多個不同的夾具，每個夾具夾持不同的鍵合品，提高了生產成本，且每次夾持不同的鍵合品還需要更換不同的夾具，使用方法較為麻煩

實用新型內容

有鑒于此，為解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種適配全自動鍵合機的專用鍵合夾具，包括：

底墊塊、壓板、若干壓爪；

所述壓板安裝于所述底墊塊的上端，所述壓板上設有定位槽；

若干所述壓爪上設有腰孔；

若干所述壓爪通過螺栓和所述腰孔安裝于所述壓板，且若干所述壓爪的爪部位于所述定位槽內。

上述的一種適配全自動鍵合機的專用鍵合夾具，其特征在于，所述底墊塊呈“凸”字形，所述壓板安裝于所述“凸”字形的上端。

上述的一種適配全自動鍵合機的專用鍵合夾具，其特征在于，若干所述壓爪包括：至少一左偏直壓爪、至少一右偏直壓爪、至少一左偏長腳壓爪、至少一右偏長腳壓爪、至少一多連壓爪、至少一雙腳壓爪。

上述的一種適配全自動鍵合機的專用鍵合夾具，其特征在于，所述左偏直壓爪包括：第一安裝部、第一連接部、第一壓爪部；所述第一安裝部、所述第一連接部以及所述第一壓爪部依次連接，所述第一安裝部安裝于所述壓板，所述第一連接部與所述定位槽的內壁接觸或遠離，所述第一壓爪部設于所述定位槽內；所述右偏直壓爪包括：第二安裝部、第二連接部、第二壓爪部；所述第二安裝部、所述第二連接部以及所述第二壓爪部依次連接，所述第二安裝部安裝于所述壓板，所述第二連接部與所述定位槽的內壁接觸或遠離，所述第二壓爪部設于所述定位槽內；所述左偏長腳壓爪包括：第三安裝部、第三連接部、第三壓爪部；所述第三安裝部、所述第三連接部以及所述第三壓爪部依次連接，所述第三安裝部安裝于所述壓板，所述第三連接部與所述定位槽的內壁接觸或遠離，所述第三壓爪部設于所述定位槽內；所述右偏長腳壓爪包括：第四安裝部、第四連接部以及第四壓爪部依次連接，所述第四安裝部安裝于所述壓板，所述第四連接部與所述定位槽的內壁接觸或遠離，所述第四壓爪部設于所述定位槽內。

上述的一種適配全自動鍵合機的專用鍵合夾具，其特征在于，所述多連壓爪包括：第五安裝部、第五連接部、若干第五壓爪部；所述第五安裝部、所述第五連接部以及所述第五壓爪部依次連接，所述第五安裝部安裝于所述壓板，所述第五連接部與所述定位槽的內壁接觸或遠離，所述第五壓爪部設于所述定位槽內。