[實用新型]一種可自動脫模的納米壓印設備

有效

• 申請號: 202222936938.7
• 申請日: 2022-11-04
• 公開（公告）號: CN218728590U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 王雨;張杰;周超前;周文容
• 申請（專利權）人: 深圳市矢量科學儀器有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;B08B1/00
• 代理公司: 北京奧肯律師事務所 11881
• 代理人: 張奔

本實用新型公開了一種可自動脫模的納米壓印設備，涉及納米壓印技術領域，包括箱體，所述箱體一端頂部的兩側均通過鉸鏈安裝有透明蓋，所述箱體內頂端安裝有UV固化燈，且UV固化燈下方設置有壓板，所述U型架通過U型架構成升降結構，所述U型架內頂部的兩端均安裝有微型氣缸，且微型氣缸的活塞桿端安裝有夾板。本實用新型U型架通過電動推桿展開收縮進行上下移動，夾板通過微型氣缸升降，能夠對加工的產品兩側進行夾持固定，U型架通過電動推桿展開收縮進行上下移動，由于右側電動推桿為傾斜設置，因此右側電動推桿展開，左側電動推桿收縮，此時所夾持的產品呈現傾斜脫模狀態，實現該納米壓印設備的自動脫模。

技術領域

本實用新型涉及納米壓印技術領域，具體為一種可自動脫模的納米壓印設備。

背景技術

納米壓印是一種微納的加工技術，通過機械轉移的手段，達到較高的分辨率，未來取代傳統的光刻技術，納米壓印技術大致分為三部分，模板加工、圖樣轉移和襯底加工，先通過電子束刻蝕技術手段，在硅或其它襯底上加工所需要的模板，然后在待加工表面涂上光刻膠，再通過模板壓印而成，最后通過紫外光使光刻膠固化即可。

根據專利號202020088977.4，申請日2020.01.16，公開了一種納米壓印設備，通過彈簧推動凸塊，將遮光板進行固定，然后進行納米壓印，該過程在不更換軟模具的情況下，僅需更換基板，實現循環操作，而且避免發生溢膠現象，防止造成基板粘在托盤上難以分離。但在其使用的過程中，忽略了自動脫模效果，導致工作效率低，因此設計一種自動脫模的納米壓印設備。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種可自動脫模的納米壓印設備，以解決上述背景技術中提出的不能自動脫模，降低工作效率的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種可自動脫模的納米壓印設備，包括箱體，所述箱體一端頂部的兩側均通過鉸鏈安裝有透明蓋，所述箱體內頂端安裝有UV固化燈，且UV固化燈下方設置有壓板，所述壓板頂端和箱體內頂端固定安裝有氣缸一，壓板通過氣缸一構成升降結構，所述壓板遠離UV固化燈的底端設置有軟模具，所述箱體內位于軟模具下方的位置處固定有基板，所述箱體內底端的兩側均設置有支架，且支架的頂端設置有脫模結構，所述脫模結構包括U型架，所述U型架設置有兩個，兩個U型架設置于支架上，且支架和U型架之間安裝有電動推桿，所述U型架通過U型架構成升降結構，所述U型架內頂部的兩端均安裝有微型氣缸，且微型氣缸的活塞桿端安裝有夾板。加工完成的產品通過U型架和夾板的配合下進行夾持固定，而通過右側電動推桿將U型架上推，因此實現自動脫模，提供該納米壓印設備工作效率。

優選的，位于軟模具下方箱體內一端設置有清潔機構，所述清潔機構包括導向架，所述導向架固定于箱體內一端，所述導向架遠離與箱體連接處滑動有移動架，所述導向架內轉動有絲桿，且絲桿螺紋于移動架內，所述箱體一側安裝有伺服電機一，且伺服電機一輸出軸延伸至導向架內并與絲桿一側固定連接，所述移動架通過伺服電機一和絲桿構成平移結構。通過伺服電機一、導向架以及絲桿使移動架平穩進行左右移動，通過左右移動對軟模具進行清潔處理。

優選的，所述移動架左側且靠近頂端的位置處設置有清潔刷，所述移動架右側位于清潔刷的下方固定有灰斗。通過清潔刷對軟模具下表面進行清潔處理，而通過灰斗收集灰塵或顆粒。

優選的，位于右側支架上方的電動推桿為傾斜設置。使產品通過傾斜的方式進行脫模處理。

優選的，所述支架和箱體內底端之間設置有移動結構，所述移動結構包括伺服電機二，所述箱體內位于基板下方兩側均開設有滑槽，所述箱體內底端的兩側均固定有導桿，兩導桿之間箱體內底端轉動有螺桿，所述伺服電機二安裝于箱體遠離透明蓋的一端，所述伺服電機二輸出軸和螺桿的一端固定連接。將支架部分從箱體內移出，因此便于拿取產品或擺放待加工的產品。

優選的，兩支架遠離透明蓋一端且位于底端的位置處固定有橫板，且橫板兩側開設有供導桿貫穿的通孔，并且橫板和導桿為滑動連接。使橫板移動的更加平穩。