[實用新型]功率半導體器件電阻電容一體化單機測試儀

有效

• 申請號: 202222929579.2
• 申請日: 2023-01-30
• 公開（公告）號: CN218630071U
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 高志齊;武勝強;李春生;周劍
• 申請（專利權）人: 常州同惠電子股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R27/02;G01R27/26
• 代理公司: 常州聯正專利代理事務所(普通合伙) 32546
• 代理人: 張岳

1.一種功率半導體器件電阻電容一體化單機測試儀，其特征在于：用于實現功率半導體器件的輸入電阻、輸入電容、輸出電容、反向電容在不同直流偏置電壓條件下的多通道掃描測試，包括控制電路、LCR測試電路、柵極偏壓電路、漏極偏壓電路及多通道隔離開關矩陣電路；

控制電路分別與LCR測試電路、柵極偏壓電路、漏極偏壓電路、多通道隔離開關矩陣電路相連接，多通道隔離開關矩陣電路分別與LCR測試電路、柵極偏壓電路、漏極偏壓電路、被測功率件相連接。

2.根據權利要求1所述的功率半導體器件電阻電容一體化單機測試儀，其特征在于：所述LCR測試電路用于在設定的測試電平、測試頻率、偏置電壓下實現功率半導體器件輸入電阻、輸入電容、輸出電容、反向電容的參數測試。

3.根據權利要求1所述的功率半導體器件電阻電容一體化單機測試儀，其特征在于：所述柵極偏壓電路用于提供一組寬范圍可調的正負直流電源，施加于功率半導體器件的柵極和源極之間，實現對半導體功率器件的通斷控制。

4.根據權利要求1所述的功率半導體器件電阻電容一體化單機測試儀，其特征在于：所述漏極直流電壓偏置電路用于提供一組寬范圍可調的直流電源，施加于功率半導體器件的漏極和源極之間，作為功率器件的漏極和源極之間的偏置電壓。

5.根據權利要求1所述的功率半導體器件電阻電容一體化單機測試儀，其特征在于：所述多通道隔離開關矩陣電路通過繼電器矩陣切換，實現對功率半導體器件不同電阻電容參數的電路切換，同時通過繼電器矩陣實現多個半導體功率器件的多通道掃描測試。

6.根據權利要求1所述的功率半導體器件電阻電容一體化單機測試儀，其特征在于：所述控制電路實現LCR測試電路參數的設置，柵極偏壓電路和漏極偏壓電路的控制，多通道隔離開關矩陣電路的通道和參數的切換，并完成功率半導體器件參數的測試。