[實用新型]一種適用于不平整樣品表面的激光剝蝕系統

有效

• 申請號: 202222911752.6
• 申請日: 2022-11-02
• 公開（公告）號: CN218612272U
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 胡勇剛;蔣建兵;梁燕;王輝;王忠強
• 申請（專利權）人: 上海凱來儀器有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/064
• 代理公司: 廣州京諾知識產權代理有限公司 44407
• 代理人: 于睿虬

本實用新型公開了一種適用于不平整樣品表面的激光剝蝕系統，包括：剝蝕激光發射模塊、物鏡、樣品臺和測距模塊，所述剝蝕激光發送模塊用于發射剝蝕激光，所述測距模塊通過脈沖激光法檢測檢測物鏡到樣品表面的距離變化，并且根據測距結果控制物鏡的上下平移，使物鏡到樣品表面的距離維持不變，所述測距模塊設置在剝蝕激光發射模塊和物鏡之間的光路上。本實用新型在現有的激光剝蝕系統中在物鏡和樣品表面之間加入測距模塊，在激光剝蝕過程中時刻調整物鏡與樣品表面的距離，使得樣品表面與聚焦鏡的距離保持恒定，使得激光剝蝕效率大大提高。

技術領域

本實用新型屬于激光剝蝕技術領域，尤其涉及一種適用于不平整樣品表面的激光剝蝕系統。

背景技術

隨著激光剝蝕系統的逐步成熟，其應用也越來越廣泛。目前，激光系統在剝蝕表面不平整的樣品時，會出現剝蝕效率不一樣的結果，其原因就是聚焦鏡(物鏡)與樣品表面的距離在變化導致的。

現激光剝蝕系統作為固體進樣方式越來越普遍，通常在激光剝蝕過程中沒有使用測距技術對樣品表面與聚焦物鏡進行距離測量，經常會導致激光聚焦點不在樣品表面，進而影響激光剝蝕的效率。

因此，如何能夠不停地根據測距結果使聚焦鏡(物鏡)與樣品表面的距離保持在焦距上，是一個亟待解決的問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的之一在于提供一種適用于不平整樣品表面的激光剝蝕系統，可以使得樣品表面與聚焦鏡的距離保持恒定，有效提高激光剝蝕效率。

為實現上述目的，本實用新型提供一種適用于不平整樣品表面的激光剝蝕系統，包括：剝蝕激光發射模塊、物鏡、樣品臺和測距模塊；

所述剝蝕激光發送模塊用于發射剝蝕激光：

所述測距模塊通過脈沖激光法檢測檢測物鏡到樣品表面的距離變化，并且根據測距結果控制物鏡的上下平移，使物鏡到樣品表面的距離維持不變；

所述測距模塊設置在剝蝕激光發射模塊和物鏡之間的光路上。

優選的，所述測距模塊包括測距激光發射器、光束分束器、檢測器、可調平行光鏡和二向色鏡；

所述測距激光發射器用于發射測距激光，所述測距激光經過第一光路后聚焦至樣品表面并在其表面反射成反射測距光，所述反射測距光經過第二光路后聚焦至檢測器。

優選的，所述測距激光依次經過光束分束器、可調平行光鏡、二向色鏡、物鏡后聚焦至樣品表面，形成第一光路。

優選的，所述光束分束器用于將接收到的測距激光分成若干束測距激光；

所述可調平行光鏡用于將經過光束分束器后的測距激光變成平行光；

所述二向色鏡用于將經過可調平行光鏡的平行光反射至物鏡。

優選的，所述反射測距光依次經過物鏡、二向色鏡、可調平行光鏡、光束分束器后經過檢測器的狹縫聚焦至檢測器，形成第二光路。

優選的，所述二向色鏡用于將經過物鏡的反射測距光反射至可調平行光鏡；

所述可調平行光鏡用于將經過二向色鏡放射的反射測距光聚焦至光束分束器；

所述光束分束器用于將經過可調平行光鏡聚焦后的反射測距光反射至檢測器的狹縫，聚焦至檢測器。

所述檢測器用于檢測反射測距光光束。

本實用新型在現有的激光剝蝕系統中在聚焦鏡(物鏡)和樣品表面之間加入測距模塊，在激光剝蝕過程中時刻調整聚焦鏡(物鏡)與樣品表面的距離，使得樣品表面與聚焦鏡的距離保持恒定，使得激光剝蝕效率大大提高。

附圖說明