[實用新型]蝕刻機用蝕刻液循環系統有效
| 申請號： | 202222905828.4 | 申請日： | 2022-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN218932312U | 公開（公告）日： | 2023-04-28 |
| 發明（設計）人： | 夏發成;顏琮琳 | 申請（專利權）人： | 矽品科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08;C23F1/46 |
| 代理公司： | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人： | 蔣慧妮 |
| 地址： | 215000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蝕刻 循環系統 | ||
【權利要求書】：
1.蝕刻機用蝕刻液循環系統，其特征在于：包括蝕刻液過濾器，所述蝕刻液過濾器與蝕刻液藥槽之間通過管路聯通形成刻蝕機的蝕刻液內循環系統，所述蝕刻液過濾器的另一端與蝕刻液外循環管道聯通，所述蝕刻液過濾器的上端還連接有一氣路通道。
2.如權利要求1所述的蝕刻機用蝕刻液循環系統，其特征在于：所述氣路通道的進氣端與外設氮氣設備通過控制閥連接。
3.如權利要求2所述的蝕刻機用蝕刻液循環系統，其特征在于：所述蝕刻液過濾器的入口端與蝕刻液藥槽的出口端連接，所述蝕刻液過濾器的下端設置有排液口，所述蝕刻液過濾器的濾清液出口的一端與蝕刻液藥槽入口端連接，所述蝕刻液過濾器的濾清液出口的另一端與蝕刻液外循環管道聯通。
4.如權利要求3所述的蝕刻機用蝕刻液循環系統，其特征在于：所述蝕刻液外循環管道與蝕刻液內循環內循環系統的管路聯通。
5.如權利要求4所述的蝕刻機用蝕刻液循環系統，其特征在于：所述蝕刻液過濾器的排液口設置有雙通閥。
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