[實用新型]一種用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒

有效

• 申請號: 202222896946.3
• 申請日: 2022-11-01
• 公開（公告）號: CN219297698U
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: 郭李梁;朱振業
• 申請（專利權）人: 洛陽長纓新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30;C30B15/20;C30B29/06;C30B28/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，涉及人工晶體制備領域，本實用新型通過在底板上設置多圈晶體拉制孔，底板將溫度場內的溫度隔離進而形成下高上低的溫度梯度，當籽晶帶動熔液上升至晶體拉制孔內時，隨著溫度的降低，熔液跟隨籽晶開始結晶，當熔液結晶后便形成所需的晶棒，通過多圈晶體拉制孔的設置，進而實現多根晶棒的同時拉制等，本實用新型用于碎硅料同時拉制多根硅芯的裝置時，有效的避免了碎硅料的資源浪費等，適合大范圍的推廣和應用。

技術領域

本實用新型涉及人工晶體制備領域，尤其涉及一種同時拉制多根晶棒的拉制筒，具體涉及一種用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒。

背景技術

已知的，多/單晶硅在整個生產過程中，以制備硅芯為例，直徑為8mm～12mm的柱狀硅棒使用量非常大，在實際生產過程中，發現柱狀硅棒制備過程中出現的余料，不小心折斷的硅棒，多/單晶硅生產企業在切割、破碎等工藝階段產生的碎料等處理非常繁瑣，很多企業為了圖省事，直接將上述碎料丟棄或者長期堆放在倉庫中，還有一些企業將上述碎料進行回收，通過直拉爐拉制成硅棒，然后通過多線切割機將硅棒切成復數根尺寸為8mm*8mm或10mm*10mm的柱狀硅棒，這樣不僅增加了柱狀硅棒的生產成本，在切割過程中還增加了雜質引入，在降低產品質量的同時，還造成了較大的資源浪費等，那么如何將碎硅料進行再利用就成了本領域技術人員的長期技術訴求。

發明人通過檢索發現，采用直拉法拉制硅棒的技術已經非常成熟，并在人工晶體制備領域得到了廣泛的應用，但是現有直拉法在拉制硅棒時，只能在坩堝的中心拉制一根硅棒，比如中國發明專利，專利號為201320678696.4，申請日為2013年10月30日，公告號為CN203639604U，專利名稱為一種軟軸提拉型單晶爐；中國發明專利，專利號為202011063763.2，申請日為2020年9月30日，公告號為CN112176400A，專利名稱為一種直拉法單晶爐及其熔體溫度梯度控制方法。上述兩專利公開的技術方案均是采用直拉法拉制硅棒的技術方案，但上述兩技術方案只能實現一根硅棒的同時拉制，無法實現多根硅棒的同時拉制等。

發明內容

為了克服背景技術中的不足，本實用新型提供了一種用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，本實用新型通過在底板上設置多圈晶體拉制孔，底板將溫度場內的溫度隔離進而形成下高上低的溫度梯度，進而實現多根晶棒的同時拉制。

為實現上述發明目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，包括筒體、晶體拉制孔和底板，在所述筒體的下開口處設有底板形成桶形結構，在所述底板的上面設有中心孔，在所述中心孔外圍的底板上面設有至少一圈貫通至底板下面的晶體拉制孔形成所述的用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒。

所述的用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，所述每圈晶體拉制孔的數量為至少兩個。

所述的用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，所述每個晶體拉制孔內分別設有套管。

所述的用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，所述套管包括錐形擴口、凸臺和管體，在所述管體外緣面的上部設有向外延伸的凸臺，在管體內緣面的上部設有上端開口大下端開口小的錐形擴口。

所述的用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，所述晶體拉制孔的形狀為圓形或橢圓形或多角形中的任意一種。

所述的用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，所述晶體拉制孔為上端開口大下端開口小的錐形孔或下端開口大上端開口小的錐形孔。

所述的用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，所述筒體外緣面的上部設有向外延伸的圓環。

所述的用于使用晶體碎料同時拉制多根晶棒的拉制筒，所述底板的上面設有外斜面或環形凸臺或內斜面或環形凹槽。