[實用新型]MEMS麥克風及電子設備

有效

• 申請號: 202222891929.0
• 申請日: 2022-10-31
• 公開（公告）號: CN218772431U
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 張永華;趙聰聰;劉詩婧;張浩
• 申請（專利權）人: 歌爾微電子股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 王永亮

本實用新型實施例公開了一種MEMS麥克風及電子設備，MEMS麥克風包括基板以及設于所述基板上的MEMS芯片、ASIC芯片與第一殼體，所述第一殼體罩設于所述MEMS芯片及ASIC芯片的外周并與所述基板圍合成內腔；所述基板上開設有主聲孔，所述主聲孔與所述MEMS芯片的背腔連通；所述第一殼體上開設有與所述內腔連通的第一次聲孔，所述第一次聲孔連接有延長聲道，所述延長聲道開設有第二次聲孔，所述第一次聲孔與所述第二次聲孔之間通過所述延長聲道連通。本實用新型實施例的一個技術效果在于通過設置延長聲道，從而增大通過第一次聲孔及主聲孔傳遞至MEMS芯片的聲波的相位差，有效提高MEMS麥克風的單指向性及靈敏度。

技術領域

本實用新型屬于麥克風技術領域，具體地，本實用新型涉及一種MEMS麥克風及電子設備。

背景技術

隨著會議系統、筆記本、頭戴耳機等電子設備對聲音拾取性能要求越來越高，大量的微型拾音器件特別是MEMS麥克風得到了廣泛的應用。

在MEMS麥克風的應用中，為實現方向性的拾音效果，需要提供可以根據需要選擇接收某一方向的聲音，而對其他方向的聲音衰減很大的麥克風。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種MEMS麥克風及電子設備的新技術方案。

根據本實用新型的第一方面，提供了一種MEMS麥克風，包括基板以及設于所述基板上的MEMS芯片、ASIC芯片與第一殼體，所述第一殼體罩設于所述MEMS芯片及ASIC芯片的外周并與所述基板圍合成內腔；

所述基板上開設有主聲孔，所述主聲孔與所述MEMS芯片的背腔連通；

所述第一殼體上開設有與所述內腔連通的第一次聲孔，所述第一次聲孔連接有延長聲道，所述延長聲道開設有第二次聲孔，所述第一次聲孔與所述第二次聲孔之間通過所述延長聲道連通。

可選地，所述延長聲道內部填充有多孔材料。

可選地，所述MEMS麥克風還包括第二殼體，所述第二殼體罩設于所述第一殼體的外周，所述第一殼體、所述第二殼體及所述基板圍合成所述延長聲道。

可選地，所述第二次聲孔位于所述第二殼體上；或者，

所述第二次聲孔位于所述第二殼體與所述第一殼體之間的基板上。

可選地，所述第一次聲孔設置于所述第一殼體靠近所述MEMS芯片的一側，所述第二次聲孔設置于所述第二殼體靠近所述ASIC芯片的一側。

可選地，所述延長聲道為管狀結構，所述第一次聲孔與所述第二次聲孔分設于所述延長聲道的兩端。

可選地，所述延長聲道設置于所述第一殼體開設有所述第一次聲孔的一側。

可選地，所述第一次聲孔上覆蓋有第一阻尼網；和/或

所述第二次聲孔上覆蓋有第二阻尼網。

根據本實用新型的第二方面，還提供了一種電子設備，包括第一方面所述的MEMS麥克風。

本實用新型的一個技術效果在于：

本實用新型通過增設延長聲道，使得聲波可以通過第二次聲孔沿該延長聲道傳輸再經第一次聲孔達到MEMS芯片的振膜，與此同時，聲波還可以經主聲孔直接到達MEMS芯片的振膜，這樣可形成聲程差，有利于實現MEMS麥克風良好的指向性及靈敏度。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征及其優點將會變得清楚。

附圖說明

被結合在說明書中并構成說明書的一部分的附圖示出了本實用新型的實施例，并且連同其說明一起用于解釋本實用新型的原理。