[實用新型]一種顯影液管路循環水恒溫結構

有效

• 申請號: 202222870289.5
• 申請日: 2022-10-27
• 公開（公告）號: CN218866310U
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 姜巖松;劉長偉;耿克濤;魏澎濤
• 申請（專利權）人: 寧波潤華全芯微電子設備有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 浙江中桓凱通專利代理有限公司 33376
• 代理人: 李美寶

1.一種顯影液管路循環水恒溫結構，所述顯影液管路循環水恒溫結構(10)包括第一顯影液管路(101)與第二顯影液管路(102)，以及第一恒溫循環水管路(11)與第二恒溫循環水管路(12)，其特征在于：

所述第一恒溫循環水管路(11)中內嵌有所述第一顯影液管路(101)；

所述第二恒溫循環水管路(12)中內嵌有所述第二顯影液管路(102)；

所述第一恒溫循環水管路(11)與所述第二恒溫循環水管路(12)連接處形成循環連接水道(200)。

2.根據權利要求1所述的顯影液管路循環水恒溫結構，其特征在于：

所述第一恒溫循環水管路(11)，包括第一恒溫循環水管路密封裝置(105)與第一恒溫循環水管道(107)，所述第一恒溫循環水管路密封裝置(105)保溫密封所述第一恒溫循環水管道(107)；

所述第二恒溫循環水管路(12)，第二恒溫循環水管路密封裝置(106)與第二恒溫循環水管道(108)，所述第二恒溫循環水管路密封裝置(106)保溫密封所述第二恒溫循環水管道(108)。

3.根據權利要求2所述的顯影液管路循環水恒溫結構，其特征在于，還包括：

結構固定塊(100)，所述第一顯影液管路(101)與所述第二顯影液管路(102)由結構固定塊(100)封裝。

4.根據權利要求3所述的顯影液管路循環水恒溫結構，其特征在于，還包括：

第二密封圈(111)，在所述結構固定塊(100)封裝所述第一顯影液管路(101)的封裝口處嵌有所述第二密封圈(111)；

第三密封圈(112)，在所述結構固定塊(100)封裝所述第二顯影液管路(102)的封裝口處嵌有所述第三密封圈(112)。

5.根據權利要求3所述的顯影液管路循環水恒溫結構，其特征在于，還包括：

第一外部接口(31)，所述第一顯影液管路(101)的未被所述結構固定塊(100)封裝的一端外接所述第一外部接口(31)；

第二外部接口(32)，所述第二顯影液管路(102)的未被所述結構固定塊(100)封裝的一端外接所述第二外部接口(32)。

6.根據權利要求5所述的顯影液管路循環水恒溫結構，其特征在于，還包括：

第一恒溫循環水管路固定連接塊(103)，所述第一恒溫循環水管路固定連接塊(103)連接所述第一恒溫循環水管道(107)；

第二恒溫循環水管路固定連接塊(104)，所述第二恒溫循環水管路固定連接塊(104)連接所述第二恒溫循環水管道(108)。

7.根據權利要求6所述的顯影液管路循環水恒溫結構，其特征在于，還包括：

顯影液管路第一密封塊(301)，所述第一外部接口(31)外部套裝有所述顯影液管路第一密封塊(301)；

顯影液管路第二密封塊(302)，所述第二外部接口(32)外部套裝有所述顯影液管路第二密封塊(302)。

8.根據權利要求7所述的顯影液管路循環水恒溫結構，其特征在于：

所述第一恒溫循環水管路固定連接塊(103)套裝在所述第一外部接口(31)與所述顯影液管路第一密封塊(301)外；

所述第二恒溫循環水管路固定連接塊(104)套裝在所述第二外部接口(32)與所述顯影液管路第二密封塊(302)外。

9.根據權利要求8所述的顯影液管路循環水恒溫結構，其特征在于，還包括：

第一密封圈(201)，所述第一恒溫循環水管路(11)中的所述第一恒溫循環水管路固定連接塊(103)與所述第二恒溫循環水管路(12)中的所述第二恒溫循環水管路固定連接塊(104)連接形成所述循環連接水道(200)，在所述循環連接水道(200)上的連接處嵌有所述第一密封圈(201)。