[實用新型]一種INP晶片取放裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222837624.1
• 申請日: 2022-10-27
• 公開（公告）號: CN218414516U
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉硯濱;趙中陽;趙春鋒;于會永;苗連昊
• 申請（專利權(quán)）人: 大慶溢泰半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 黑龍江省百盾知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 23218
• 代理人: 孫淑榮

一種INP晶片取放裝置，涉及半導(dǎo)體晶片加工技術(shù)領(lǐng)域，包括無塵盒和滑桿，無塵盒內(nèi)放置有一卷無塵膜，無塵膜具有無塵無痕的效果，無塵盒外的一側(cè)固接有兩根相互平行的插桿，兩根插桿上帶有相互鏡像的滑動軌道，滑動軌道包括沿插桿長度方向上開設(shè)的兩條直滑道和一條用于連接兩條直滑道的換向滑道，滑桿的兩端分別滑動設(shè)置在兩個滑動軌道內(nèi)，滑桿兩端設(shè)置有膜夾，無塵膜夾放在膜夾上，在換向通道內(nèi)側(cè)的插桿上設(shè)置有擋桿，滑桿在滑動軌道內(nèi)滑動一個往返，無塵膜將磷化銦晶片的正反面全部包裹住，實現(xiàn)了為晶片無痕、無污染、無劃傷式取放。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于半導(dǎo)體晶片加工領(lǐng)域，尤其涉及一種INP晶片取放裝置。

背景技術(shù)

磷化銦晶片，屬于第三代半導(dǎo)體的新型材料，目前主要應(yīng)用于光通信器件上，數(shù)碼率很高、波長單色性很好的磷化銦基激光器、調(diào)制器、探測器及其模塊已廣泛應(yīng)用于光網(wǎng)絡(luò)，從而推動互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)信息傳輸量的飛速發(fā)展，不斷滿足人們對網(wǎng)絡(luò)向更高速度和更寬帶寬方向發(fā)展的要求。

磷化銦晶片存放在晶舟中，加工過程中或者封裝發(fā)貨前，需要將碳化硅晶片從晶舟中取出，現(xiàn)有技術(shù)中使用真空筆吸附的方法將磷化銦晶片取出，對于拋光機背面要求不高的晶片來說，此方法可行；但是對于雙拋表面潔凈度要求高的晶片，此方法不可行，因此需要一種能夠避免晶片取放過程中出現(xiàn)印痕、臟、及損傷的取放裝置。

實用新型內(nèi)容

為了更好的解決磷化銦晶片無污染、無印痕、無損傷的取放問題，本實用新型提供一種INP晶片取放裝置，本實用新型通過使用無塵膜將磷化銦晶片套住取出，無塵膜具有無塵無痕的效果，保證取放過程中避免了磷化銦晶片與外界接觸，避免劃傷和印痕。

本實用新型提供的技術(shù)方案是：一種INP晶片取放裝置，包括無塵盒和滑桿，無塵盒內(nèi)放置有一卷無塵膜，無塵膜具有無塵無痕的效果，無塵盒外的一側(cè)固接有兩根相互平行的插桿，兩根插桿上帶有相互鏡像的滑動軌道，所述的滑動軌道包括沿插桿長度方向上開設(shè)的兩條直滑道和一條用于連接兩條直滑道的換向滑道，所述的滑桿的兩端分別滑動設(shè)置在兩個滑動軌道內(nèi)，滑桿兩端設(shè)置有膜夾，無塵盒側(cè)壁開設(shè)有用于使無塵膜通過的窄縫，無塵膜夾放在膜夾上，在換向通道內(nèi)側(cè)的插桿上設(shè)置有擋桿，滑桿在滑動軌道內(nèi)滑動一個往返，無塵膜將磷化銦晶片的正反面全部包裹住；兩根插桿外側(cè)分別設(shè)置有推拉桿，推拉桿抵在滑桿的端部，推拉桿與滑桿端部通過線繩連接。

作為進一步的技術(shù)方案是：所述的換向滑道為雙向環(huán)向滑道，包括互為鏡像的兩個斜段和兩個直段，斜段連接在直段與直滑道之間，兩個直段中間轉(zhuǎn)動設(shè)置有一個換向擋板，換向擋板的自由端可分別吸附在兩個斜段上。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型能夠通過推拉桿一推一拉使滑桿在滑動軌道內(nèi)滑動一個往返，使無塵膜將磷化銦晶片的正反面全部包裹住，此時可以提出晶片，由于無塵膜具有無塵無痕的效果，因此既不會弄臟晶片表面，又不會在晶片表面劃出劃痕，很好的保護了晶片。

附圖說明

圖1是本實用新型的俯視圖。

圖2是本實用新型的側(cè)視圖。

圖3是圖1中A處的局部放大圖。

圖4是本實用新型中換向滑道第一種狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實用新型中換向滑道第二種狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、插桿；2、凹槽；3、滑動軌道；4、無塵膜；5、無塵盒；6、推拉桿；7、把手二；8、滑桿；9、擋桿；10、把手一；11、換向擋板；12、膜夾；13、滑動軸承；301、直滑道；302、換向滑道。

具體實施方式

為了使本實用新型所要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。