[實用新型]一種氧化鈮靶材的制備裝置

有效

• 申請號: 202222810444.4
• 申請日: 2022-10-25
• 公開（公告）號: CN219113698U
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 張煒
• 申請（專利權）人: 揚州三和化工有限公司
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B41/06;B24B41/00;B24B47/12;B24B55/06;B24B55/03;B24B55/00
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1.一種氧化鈮靶材的制備裝置，包括操作臺(1)，其特征在于：所述操作臺(1)呈回字形，所述操作臺(1)的中部設置有打磨臺(2)，所述打磨臺(2)的四角處均固定連接有支撐板(3)，所述支撐板(3)遠離打磨臺(2)的一端固定連接在操作臺(1)上，所述操作臺(1)一側的中部固定連接有抽氣泵(5)，所述抽氣泵(5)的進氣口連通有軟管(4)，所述軟管(4)貫穿操作臺(1)的側壁并伸入打磨臺(2)的內部，所述打磨臺(2)的上端設置有多組固定組件，所述固定組件包括導管(6)和吸盤(7)，所述導管(6)的一端在打磨臺(2)內部與軟管(4)連通，所述導管(6)的另一端與吸盤(7)連通。

2.根據權利要求1所述的一種氧化鈮靶材的制備裝置，其特征在于：所述導管(6)的中部設置有控制組件，所述控制組件包括控制球(25)、連軸(26)、螺紋桿(24)和旋桿(23)，所述控制球(25)呈半球狀，所述控制球(25)的一端固定連接在連軸(26)上，所述控制球(25)的另一端固定連接在螺紋桿(24)上，所述連軸(26)遠離控制球(25)的一端轉動連接在導管(6)的內壁上，所述導管(6)的側壁開設有與螺紋桿(24)吻合的螺紋孔，所述螺紋桿(24)螺紋連接在螺紋孔內，所述螺紋桿(24)遠離控制球(25)的一端固定連接有旋桿(23)。

3.根據權利要求1所述的一種氧化鈮靶材的制備裝置，其特征在于：所述打磨臺(2)的上方設置有打磨組件，所述打磨組件包括吊架(14)、第二電機(15)、轉軸(17)和打磨盤(16)，所述第二電機(15)固定連接在吊架(14)的上表面，所述第二電機(15)的驅動軸貫穿吊架(14)并固定連接在轉軸(17)的頂部，所述打磨盤(16)固定連接在轉軸(17)的底部上，所述吊架(14)遠離第二電機(15)的一端固定連接有T型塊。

4.根據權利要求3所述的一種氧化鈮靶材的制備裝置，其特征在于：所述操作臺(1)靠近T型塊的一側設置有驅動打磨組件往復移動的驅動結構，所述驅動結構包括第一電機(8)、絲杠(9)、滑塊(10)和立板(12)，所述第一電機(8)固定安裝在操作臺(1)的側壁上，所述絲杠(9)固定連接在第一電機(8)的驅動軸上，所述絲杠(9)沿著操作臺(1)的長度方向延伸至操作臺(1)的內壁上，所述立板(12)固定連接在滑塊(10)的上表面，所述滑塊(10)上設置有與絲杠(9)配合的螺紋孔，所述滑塊(10)呈L型，所述操作臺(1)靠近絲杠(9)一側的上表面開設有滑動槽(11)，所述滑塊(10)朝向滑動槽(11)一面固定連接有凸塊，所述凸塊滑動連接在滑動槽(11)內。

5.根據權利要求4所述的一種氧化鈮靶材的制備裝置，其特征在于：所述立板(12)朝向第二電機(15)一面的上端開設有T型槽(27)，所述T型塊滑動連接在T型槽(27)內，所述吊架(14)的下表面固定連接有氣缸(13)，所述氣缸(13)的底部固定連接在滑塊(10)的上表面。

6.根據權利要求5所述的一種氧化鈮靶材的制備裝置，其特征在于：所述吊架(14)的中部設置有進水管(29)，所述進水管(29)的底部連通有橫向水管(18)，所述橫向水管(18)的底部連通有三組連通管(21)，所述連通管(21)的底部連通有噴嘴(22)。

7.根據權利要求6所述的一種氧化鈮靶材的制備裝置，其特征在于：所述連通管(21)朝向固定組件傾斜。

8.根據權利要求7所述的一種氧化鈮靶材的制備裝置，其特征在于：所述操作臺(1)的底部固定連接有導向盒(19)，所述導向盒(19)底部的兩側均開設有滑道，所述滑道的內部滑動連接有固定塊(28)，兩個固定塊(28)的底部固定連接有過濾盒(20)。

9.根據權利要求8所述的一種氧化鈮靶材的制備裝置，其特征在于：所述操作臺(1)的頂部固定連接有多組擋板，所述操作臺(1)下表面的四角處固定連接有支撐柱。