[實用新型]一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置

有效

• 申請號: 202222799044.8
• 申請日: 2022-10-24
• 公開（公告）號: CN218180159U
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 顧躍;黃曉升
• 申請（專利權）人: 廈門雅和升科技有限公司
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24
• 代理公司: 重慶博凱知識產權代理有限公司 50212
• 代理人: 李海華

1.一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，包括底座，在底座一側設有支架，在支架上設有偏振片A、晶片臺和觀察鏡頭，晶片臺為圓環狀，圓環內徑小于晶片直徑，用于放置待檢測晶片并避免掉落；在底座上表面或者支架下端設有面光源；偏振片A位于面光源正上方并位于晶片臺正下方，觀察鏡頭位于晶片臺上方；其特征在于：在偏振片A和晶片臺之間設有1/4波片A，偏振片A、1/4波片A、晶片臺中心在同一豎直線上。

2.根據權利要求1所述的一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，其特征在于：在支架上設有1/4波片B和偏振片B，1/4波片B位于晶片臺正上方，偏振片B位于1/4波片B正上方和觀察鏡頭之間。

3.根據權利要求2所述的一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，其特征在于：所述晶片臺與水平方向成4度傾角；面光源、偏振片A、1/4波片A、1/4波片B、偏振片B、觀察鏡頭均水平放置。

4.根據權利要求2所述的一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，其特征在于：所述偏振片A與偏振片B偏振方向相同，偏振片A偏振方向與1/4波片A慢軸夾角為45度，1/4波片A與1/4波片B慢軸方向相同。

5.根據權利要求2所述的一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，其特征在于：所述面光源、偏振片A、1/4波片A、1/4波片B、偏振片B和觀察鏡頭均為圓形；面光源直徑大于偏振片A；所述偏振片A、1/4波片A、1/4波片B和偏振片B直徑均相同，且直徑大于或等于晶片直徑；觀察鏡頭直徑小于晶片直徑。

6.根據權利要求1所述的一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，其特征在于：所述面光源為500—600nm波長的LED光源。

7.根據權利要求1所述的一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，其特征在于：所述晶片臺邊緣設有一圈凸起，以防止待測晶片滑落。

8.根據權利要求2所述的一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，其特征在于：所述偏振片A、1/4波片A、晶片臺、1/4波片B、偏振片B和觀察鏡頭分別通過支架上橫向伸出的支耳安裝在支架上。

9.根據權利要求8所述的一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，其特征在于：所述觀察鏡頭與伸縮機構連接，伸縮機構與對應的支耳連接，以使觀察鏡頭通過伸縮機構的伸縮實現前后左右橫向移動。

10.根據權利要求9所述的一種用于導電型碳化硅晶片的應力檢測裝置，其特征在于：所述伸縮機構通過豎直設置的轉軸與對應的支耳可轉動連接，以使觀察鏡頭可在水平面內繞轉軸旋轉。