[實(shí)用新型]用于三合一真空腔室的輸送機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222757234.3
• 申請(qǐng)日: 2022-10-19
• 公開（公告）號(hào): CN218535639U
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牛峰;王振
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山索坤萊機(jī)電科技有限公司
• 主分類號(hào): B29C63/02
• 分類號(hào): B29C63/02;B29C63/00;B29C31/00;F16F15/067
• 代理公司: 江蘇海聯(lián)海律師事務(wù)所 32531
• 代理人: 倪章勇

1.一種用于三合一真空腔室的輸送機(jī)構(gòu)，其特征在于，設(shè)置在機(jī)架(1)與三合一真空腔室的中腔室(3)之間，該輸送機(jī)構(gòu)包括：

緩沖組件(5)，所述緩沖組件(5)與中腔室(3)的外壁凸臺(tái)(31)在豎直方向緩沖連接，所述緩沖組件(5)包括緩沖臺(tái)(51)，所述緩沖臺(tái)(51)與中腔室(3)的外壁凸臺(tái)(31)之間設(shè)置能將中腔室(3)向上頂起并與下腔室(4)分離的緩沖彈簧(52)，同時(shí)所述緩沖臺(tái)(51)與外壁凸臺(tái)(31)之間在豎直方向通過剝線螺栓(53)連接；

平移組件(6)，設(shè)置在機(jī)架(1)上，該平移組件(6)包括與緩沖臺(tái)(51)連接并驅(qū)動(dòng)緩沖臺(tái)(51)平移至升降組件(7)上方的平移驅(qū)動(dòng)件(61)；和

升降組件(7)，該升降組件設(shè)置在機(jī)架(1)上且位于三合一真空腔室一側(cè)；所述升降組件(7)包括升降氣缸(71)，所述升降氣缸(71)的伸縮桿朝上設(shè)置并在伸縮桿的端部設(shè)置升降臺(tái)(72)，且所述升降臺(tái)(72)在升降時(shí)的最低位置低于中腔室(3)的下端面，所述升降臺(tái)(72)在升降時(shí)的最高位置不低于中腔室(3)的上端面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于三合一真空腔室的輸送機(jī)構(gòu)，其特征在于：在緩沖臺(tái)(51)上沿豎直方向設(shè)置若干導(dǎo)向桿(54)，外壁凸臺(tái)上對(duì)應(yīng)導(dǎo)向桿處定位嵌設(shè)有導(dǎo)向滑套(55)，所述導(dǎo)向桿與所述導(dǎo)向滑套一一對(duì)應(yīng)并滑動(dòng)套設(shè)于導(dǎo)向滑套(55)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于三合一真空腔室的輸送機(jī)構(gòu)，其特征在于：在緩沖臺(tái)(51)的上表面設(shè)置下彈簧安裝孔(511)，在外壁凸臺(tái)(31)的下表面設(shè)置與下彈簧安裝孔(511)對(duì)應(yīng)的上彈簧安裝孔(311)，所述緩沖彈簧的兩端分別設(shè)置在上彈簧安裝孔和下彈簧安裝孔內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于三合一真空腔室的輸送機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述平移組件(6)還包括與緩沖臺(tái)(51)連接的平移滑塊(62)和固設(shè)在機(jī)架(1)上的平移導(dǎo)軌(63)，所述平移滑塊(62)滑動(dòng)設(shè)置在平移導(dǎo)軌(63)上，且所述平移導(dǎo)軌(63)與平移驅(qū)動(dòng)件(61)的驅(qū)動(dòng)方向平行。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于三合一真空腔室的輸送機(jī)構(gòu)，其特征在于：在平移導(dǎo)軌(63)的兩端還分別設(shè)置有定位組件(8)，每組所述定位組件(8)包括固設(shè)在機(jī)架(1)上的緩沖器(81)、固設(shè)于機(jī)架(1)上的光電傳感器(82)和固設(shè)于緩沖臺(tái)(51)上與光電傳感器(82)配合的遮光片(83)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于三合一真空腔室的輸送機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述平移組件(6)和緩沖組件(5)均設(shè)置兩組，且分別對(duì)稱設(shè)置在中腔室(3)的兩側(cè)，所述升降組件(7)設(shè)置一組，且所述升降組件(7)位于對(duì)稱的兩組平移組件(6)之間同時(shí)位于三合一真空腔室的一側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于三合一真空腔室的輸送機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述平移驅(qū)動(dòng)件(61)為設(shè)置在機(jī)架(1)上的無桿氣缸，且所述無桿氣缸的滑臺(tái)與緩沖臺(tái)(51)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于三合一真空腔室的輸送機(jī)構(gòu)，其特征在于：三合一真空腔室包括從上之下依次設(shè)置的上腔室(2)、中腔室(3)和下腔室(4)，所述上腔室(2)與位于機(jī)架(1)上且能驅(qū)動(dòng)上腔室(2)閉合或分開的驅(qū)動(dòng)組件(21)連接，所述中腔室(3)通過輸送機(jī)構(gòu)與機(jī)架(1)連接，所述下腔室(4)固定設(shè)置在機(jī)架(1)上。