[實用新型]一種在石墨結構件表面鍍碳化物保護層的裝置

有效

• 申請號: 202222719987.5
• 申請日: 2022-10-17
• 公開（公告）號: CN218175088U
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 哈爾濱科友半導體產業裝備與技術研究院有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/18
• 代理公司: 哈爾濱市文洋專利代理事務所(普通合伙) 23210
• 代理人: 王艷萍

1.一種在石墨結構件表面鍍碳化物保護層的裝置，其特征在于該裝置包括升華室(1)、鎢支撐筒(2)、鍍層室(3)、不銹鋼外殼(4)、第一隔板(5)和第二隔板(6)；

其中升華室(1)、鎢支撐筒(2)、鍍層室(3)均置于不銹鋼外殼(4)內；

升華室(1)由鎢坩堝(1-1)、第一加熱器(1-2)組成；第一加熱器(1-2)設置在鎢坩堝(1-1)外；

鍍層室(3)由上蓋(3-1)、帶孔鎢倒圓臺(3-2)、帶孔鎢圓板(3-3)、帶孔鎢圓筒(3-4)、多孔石墨板(3-5)、第二加熱器(3-6)組成；其中帶孔鎢倒圓臺(3-2)的上底為上蓋(3-1)，下底為帶孔鎢圓板(3-3)，上蓋(3-1)的中心開有孔；帶孔鎢圓筒(3-4)置于帶孔鎢圓板(3-3)上，多孔石墨板(3-5)置于帶孔鎢圓筒(3-4)上；

第二加熱器(3-6)設置在帶孔鎢倒圓臺(3-2)外；

第一隔板(5)固定連接在上蓋(3-1)與不銹鋼外殼(4)內壁之間；第二隔板(6)固定連接在鎢支撐筒(2)與不銹鋼外殼(4)內壁之間；在位于第一隔板(5)和第二隔板(6)之間的不銹鋼外殼(4)上開有氫氣入口(4-1)；

鎢支撐筒(2)為真空通道，鎢支撐筒(2)將升華室(1)與鍍層室(3)連通。

2.根據權利要求1所述的一種在石墨結構件表面鍍碳化物保護層的裝置，其特征在于帶孔鎢倒圓臺(3-2)和帶孔鎢圓筒(3-4)的孔徑為0.5～1mm。

3.根據權利要求1或2所述的一種在石墨結構件表面鍍碳化物保護層的裝置，其特征在于帶孔鎢圓板(3-3)上的孔徑為0.5～1mm。

4.根據權利要求1或2所述的一種在石墨結構件表面鍍碳化物保護層的裝置，其特征在于多孔石墨板(3-5)的中心開有孔。