[實用新型]一種微型芯片頂針模組

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222668506.2
• 申請日: 2022-10-11
• 公開（公告）號: CN218447866U
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發(fā)明（設計）人: 栗勇;宋斌杰;楊俊輝;余清華;陳飛
• 申請（專利權(quán)）人: 珠海市申科譜工業(yè)科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;F16F15/04
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 黃國勇

本實用新型旨在提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、方便日常安裝同時頂升偏差量小的一種微型芯片頂針模組。本實用新型包括Z軸驅(qū)動裝置、Y軸驅(qū)動裝置、頂升組件以及頂針組件，Y軸驅(qū)動裝置設置在Z軸驅(qū)動裝置的活動端，頂升組件設置在Y軸驅(qū)動裝置的活動端上，頂針組件包括固定座、滑動座、頂推桿、頂針頭、頂針組以及頂針外殼，固定座設置在頂升組件上，滑動座與固定座滑動配合，滑動座與頂升組件的活動端相連接，頂推桿的一端與滑動座固定連接，頂推桿的另一端與頂針頭相連接，固定座上設有與頂推桿限位配合的第三彈性件，頂針組夾緊于頂針頭內(nèi)，頂針外殼設有與頂針組相適配的開口。本實用新型應用于芯片頂針組件的技術(shù)領(lǐng)域。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及芯片頂針組件的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種微型芯片頂針模組。

背景技術(shù)

隨著現(xiàn)代技術(shù)飛速發(fā)展，半導體行業(yè)開始不斷取得重大技術(shù)突破，越來越多的半導體芯片、集成電路板進入了標準化、自動化、智能化的生產(chǎn)時代，越來越多的自動化設備代替了原有的生產(chǎn)模式。而其中，微小型尺寸（1mm以下）半導體元件的外形尺寸檢測，便是整個芯片、集成電路板生產(chǎn)流程中的重要一環(huán)。半導體元件是構(gòu)成集成電路的基礎，半導體元件的尺寸越精密，組成的集成電路便越精準，產(chǎn)品質(zhì)量也就越高，由于產(chǎn)品物料尺寸較?。?mm以下），真空吸嘴與物料可接觸面積小，且檢測尺寸較多需要多面檢測，因此對頂針組穩(wěn)定性和精準度也隨之提高，現(xiàn)有的頂針機構(gòu)中，在頂針推出使會帶有一定的徑向抖動，容易對芯片吸附穩(wěn)定性造成影響。

如公開號為CN209150078U的頂針裝置，其公開一種包括頂針組件和驅(qū)動機構(gòu)，所述頂針組件包括針頭、第一固定座和第一傳動件，所述針頭的數(shù)目為兩個，兩個的所述針頭的中心之間的距離為120～140μm；所述驅(qū)動機構(gòu)包括第二傳動件、第三傳動件、滑動件、抵持件、彈性件和驅(qū)動件，所述第二傳動件固定套設于所述驅(qū)動件的輸出軸上，且所述驅(qū)動件的輸出軸相對于所述第二傳動件偏心設置，所述第三傳動件的外圓周抵持所述滑動件的一端，該結(jié)構(gòu)中使用偏心結(jié)構(gòu)使頂針推出并配合彈性件使頂針自然回縮，但該結(jié)構(gòu)使用過程中第一傳動件與套筒之間容易發(fā)生徑向跳動，在頂針推出時容易發(fā)生偏差，精準度較低。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、方便日常安裝同時頂升偏差量小的一種微型芯片頂針模組。

本實用新型所采用的技術(shù)方案是：本實用新型包括Z軸驅(qū)動裝置、調(diào)整平臺、頂升組件以及頂針組件，所述調(diào)整平臺設置在所述Z軸驅(qū)動裝置的活動端，所述頂升組件設置在所述調(diào)整平臺的活動端上，所述頂針組件包括固定座、滑動座、頂推桿、頂針頭、頂針組以及頂針外殼，所述固定座設置在所述頂升組件上，所述滑動座與所述固定座滑動配合，所述滑動座與所述頂升組件的活動端相連接，所述頂推桿的一端與所述滑動座固定連接，所述頂推桿的另一端與所述頂針頭相連接，所述固定座上設有與所述頂推桿限位配合的第三彈性件，所述頂針組夾緊于所述頂針頭內(nèi)，所述頂針外殼設有與所述頂針組相適配的開口。

進一步，所述固定座上開設有第三凹槽，所述第三凹槽的寬度大于所述第三彈性件的寬度。

進一步，所述固定座上設有連接件，所述連接件的一端設有第一凹槽，所述第一凹槽內(nèi)設有第一彈性件，所述固定座和所述頂針外殼之間通過所述第一彈性件緊密扣合，所述連接件的另一端設有第二凹槽，所述第二凹槽設有第二彈性件，所述固定座通過所述第二彈性件與所述連接件緊密扣合。

進一步，所述滑動座包括兩組滑軌、滑塊、固定塊以及兩組回彈件，兩組滑軌設置在所述固定座上，所述滑塊與兩組所述滑軌滑動配合，所述固定塊和所述滑塊上均設有與所述頂升桿相配合的讓位槽，兩組所述回彈件的一端與所述固定座相連接，兩組所述回彈件的另一端與所述固定塊相連接。

進一步，所述頂升組件包括頂升架、頂升驅(qū)動裝置、頂升凸輪以及接觸輪，所述頂升架與所述調(diào)整平臺的活動端相連接，所述頂升驅(qū)動裝置設置在所述頂升架上，所述頂升凸輪與所述頂升驅(qū)動裝置的輸出端相連接，所述接觸輪固定連接于所述頂升凸輪上，所述接觸輪與所述滑動座頂升配合。