[實用新型]一種高效去除鹵代烴中雜質的精餾裝置

有效

• 申請號: 202222642726.8
• 申請日: 2022-10-09
• 公開（公告）號: CN219462537U
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發明（設計）人: 王云飛;李旭;胡帥;樊文端;鄭秋艷;張帥;張威;祝德康
• 申請（專利權）人: 中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司
• 主分類號: B01D3/14
• 分類號: B01D3/14;B01D3/32;B01D3/42;B01D53/04
• 代理公司: 西安匯恩知識產權代理事務所(普通合伙) 61244
• 代理人: 彭瓊

本實用新型提供了一種高效去除鹵代烴中雜質的精餾裝置，包括鹵代烴原料鋼瓶、第一純化塔、第一吸附塔、第二純化塔、第二吸附塔、第三純化塔、低溫產品儲罐、第一低溫粗品儲罐和第二低溫粗品儲罐，鹵代烴原料鋼瓶、第一純化塔、第一吸附塔、第二純化塔、第二吸附塔和第三純化塔依次連通，第三純化塔尾端連接有低溫產品儲罐、第一低溫粗品儲罐和第二低溫粗品儲罐。本發明去除鹵代烴中雜質，使得雜質總含量小于0.5ppm，其中原料通過管路、流量計和流量控制閥依次進入第一純化塔、第一吸附塔、第二純化塔、第二吸附塔和第三純化塔，經逐級純化、吸附和二級間歇排氣，得到純度99.99995％及以上級的高純鹵代烴，易于實現工業化生產。

技術領域

本實用新型屬于鹵代烴中雜質去除技術領域，具體涉及一種高效去除鹵代烴中雜質的精餾裝置。

背景技術

隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展，電子氣體市場需求量明顯增長。目前我國半導體芯片的年進口額已經遠超過原油的進口額，同時芯片應用面廣，過分依賴進口無疑對我國的安全構成較大威脅。烷烴類、炔烴類、烯烴類、鹵代烴類等高純電子氣體我國則需要完全進口，成為被卡脖子的軟肋。電子特種氣體發展趨勢是高純化和雜質含量的痕量化，常規的、單一的分離技術難以達到分離要求。

目前現有文獻或者專利中已經公開了各種鹵代烴類有機雜質去除方法。杜邦于1994年申請的US5523499A專利中提出利用活性炭或無機分子篩作為吸附劑來吸附六氟乙烷粗品中的雜質。

佛山市華特氣體有限公司和廣東華南特種氣體研究所有限公司于2012年申請的CN103664502A專利中提出通過常溫吸附+精餾+低溫吸附+加壓吸附的步驟來提純八氟丙烷。

廣東華特氣體股份有限公司與江西華特電子化學品有限公司于2016年共同申請的CN105777483A專利提出原料進氣進行初段吸附，然后進行脫輕精餾和脫重精餾，然后再經過兩次深度吸附，從而達到高純度八氟環丁烷。

大金公司于1996年申請的JP10182516A專利提出通過氯化八氟環丁烷與八氟丁烯的混合物中的八氟丁烯使其形成具有高沸點的八氟二氯丁烷，并且然后通過蒸餾將八氟環丁烷從混合物中分離而提出。

通過上述方法在一定程度上能夠去除有機雜質，但工藝復雜，效率低，并且因為有機物結構復雜，種類繁多，性質差異大，烯烴、炔烴或環烷烴類雜質分子間作用力大或者易與目標產物發生共沸，僅通過吸附和純化工藝，難以將雜質完全高效去除，產品純度難以達到99.999%及以上級別。

基于此，提出了一種高效去除鹵代烴中雜質的精餾裝置。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題在于針對上述現有技術的不足，提供一種高效去除鹵代烴中雜質的精餾裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：一種高效去除鹵代烴中雜質的精餾裝置，包括鹵代烴原料鋼瓶、第一純化塔、第一吸附塔、第二純化塔、第二吸附塔、第三純化塔、低溫產品儲罐、第一低溫粗品儲罐和第二低溫粗品儲罐，所述鹵代烴原料鋼瓶、第一純化塔、第一吸附塔、第二純化塔、第二吸附塔和第三純化塔依次連通，所述第三純化塔尾端連接有低溫產品儲罐、第一低溫粗品儲罐和第二低溫粗品儲罐；

所述第一純化塔上分別連接有第一純化塔進料管線、低溫粗品儲罐至第一純化塔管線、第一純化塔進料流量計、第一純化塔進料流量控制閥、第一純化塔液位計、第一純化塔偏心喇叭口、第一純化塔上部排氣管路控制閥、第一純化塔上部排氣管路、第一純化塔下部排氣管路、第一純化塔下部排氣管路控制閥、第一純化塔二級間歇排氣管路流量計、第一純化塔二級間歇排氣管路流量控制閥、第一純化塔溫度計、第一純化塔壓力表、第一純化塔冷媒入口管線、第一純化塔冷媒出口管線、第一純化塔頂部出料管線、第一純化塔頂部出料流量計和第一純化塔頂部出料流量控制閥；