[實用新型]場發射掃描電子顯微鏡

有效

• 申請號: 202222638403.1
• 申請日: 2022-10-08
• 公開（公告）號: CN218826947U
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 陰達;孫斌;張偉
• 申請（專利權）人: 國儀量子（合肥）技術有限公司
• 主分類號: H01J37/14
• 分類號: H01J37/14;H01J37/147;H01J37/28
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 雷玉龍

1.一種場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，包括源方束張角控制鏡、物鏡、設于所述源方束張角控制鏡和所述物鏡之間的像方束張角控制鏡、設于所述源方束張角控制鏡和所述像方束張角控制鏡之間的光圈，所述源方束張角控制鏡設有第一極靴，所述像方束張角控制鏡設有第二極靴，所述物鏡設有第三極靴，

所述第一極靴與所述光圈之間、所述光圈與所述第二極靴之間、所述第二極靴與所述第三極靴之間，其中的至少一處設有對中線圈。

2.根據權利要求1所述的場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述第一極靴與所述光圈之間、所述光圈與所述第二極靴之間、所述第二極靴與所述第三極靴之間均設有所述對中線圈。

3.根據權利要求1所述的場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述第一極靴與所述光圈之間設有一對所述對中線圈，所述光圈與所述第二極靴之間、所述第二極靴與所述第三極靴之間均設有一個所述對中線圈。

4.根據權利要求1所述的場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述第一極靴與所述光圈之間的所述對中線圈位于所述源方束張角控制鏡內，所述第一極靴設于所述源方束張角控制鏡遠離所述像方束張角控制鏡的一端，所述對中線圈設于所述源方束張角控制鏡靠近所述像方束張角控制鏡的一端。

5.根據權利要求1所述的場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述光圈與所述第二極靴之間的所述對中線圈位于所述像方束張角控制鏡內，所述第二極靴設于所述像方束張角控制鏡靠近所述物鏡的一端，所述對中線圈設于所述像方束張角控制鏡遠離所述物鏡的一端。

6.根據權利要求1所述的場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述第二極靴和所述第三極靴之間的所述對中線圈位于所述物鏡內，所述第三極靴設于所述物鏡遠離所述像方束張角控制鏡的一端，所述對中線圈設于所述物鏡靠近所述像方束張角控制鏡的一端。

7.根據權利要求1所述的場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述源方束張角控制鏡包括第一磁透鏡芯柱，所述像方束張角控制鏡包括第二磁透鏡芯柱，所述物鏡包括第三磁透鏡芯柱，所述第一極靴的內徑小于所述第一磁透鏡芯柱的內徑，所述第二極靴的內徑小于所述第二磁透鏡芯柱的內徑，所述第三極靴的內徑小于所述第三磁透鏡芯柱的內徑。

8.根據權利要求1所述的場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述源方束張角控制鏡、所述像方束張角控制鏡和所述物鏡獨立設置。

9.根據權利要求1所述的場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，還包括鏡筒、電子槍、真空差分孔和隔斷閥，所述鏡筒具有第一真空腔和第二真空腔，所述真空差分孔和所述隔斷閥設于所述第一真空腔和所述第二真空腔之間，所述電子槍、所述源方束張角控制鏡設于所述第一真空腔，所述像方束張角控制鏡和所述物鏡設于所述第二真空腔。

10.根據權利要求1所述的場發射掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述第三極靴包括上極靴和下極靴，所述上極靴和所述下極靴之間間隔開以形成抽氣通道。