[實用新型]振蕩頻率元件用載具

有效

• 申請號: 202222613111.2
• 申請日: 2022-09-30
• 公開（公告）號: CN218160315U
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 王璽霖;李勇智
• 申請（專利權）人: 研創自動化設備（惠州）有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 北京力量專利代理事務所(特殊普通合伙) 11504
• 代理人: 李萱

本實用新型涉及一種振蕩頻率元件用載具，包括：載船、載盤、非磁性蓋板和磁性框體；載船的第一面設置有多個磁性塊，載盤的第一面與載船的第一面連接，載盤的第一面開設有多個通槽，載盤的第二面開設有多個蝕刻槽，且各蝕刻槽與各通槽一一相互連通，各蝕刻槽沿載盤的中心軸線呈矩陣狀設置，各蝕刻槽的橫截面積大于各通槽的橫截面積，非磁性蓋板的第一面與載盤的第二面活動連接，非磁性蓋板開設有多個加工孔，各加工孔與各蝕刻槽一一相互連通，且各加工孔的橫截面積小于各蝕刻槽的橫截面積，磁性框體的一面與非磁性蓋板的第二面連接，磁性框體具有開口，且開口與各加工孔相互連通，磁性框體用于與各磁性塊磁性相吸。

技術領域

本實用新型涉及壓電元件制造技術領域，特別涉及一種振蕩頻率元件用載具。

背景技術

壓電元件是將電壓強制轉換成力的電子元件，可以在電子設備中產生原始的時鐘頻率。為了保證壓電元件頻率的精度，需要對壓電元件進行頻率微調，目前通常用離子刻蝕微調機進行操作。其中，載具用于裝載壓電元件，并運行到離子刻蝕微調機內，從而在真空環境下進行壓電元件的刻蝕。

隨著壓電元件尺寸越來越小，壓電元件在通過載具進行傳送或測量時，容易發生跳動，從而影響壓電元件的蝕刻效果。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種振蕩頻率元件用載具。

本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下：

一種振蕩頻率元件用載具，包括：載船、載盤、非磁性蓋板和磁性框體；

所述載船的第一面設置有多個磁性塊，所述載盤的第一面與所述載船的第一面連接，所述載盤的第一面開設有多個通槽，所述載盤的第二面開設有多個蝕刻槽，且各所述蝕刻槽與各所述通槽一一相互連通，各所述蝕刻槽沿所述載盤的中心軸線呈矩陣狀設置，各所述蝕刻槽的橫截面積大于各所述通槽的橫截面積，所述非磁性蓋板的第一面與所述載盤的第二面活動連接，所述非磁性蓋板開設有多個加工孔，各所述加工孔與各所述蝕刻槽一一相互連通，且各所述加工孔的橫截面積小于各所述蝕刻槽的橫截面積，所述磁性框體的一面與所述非磁性蓋板的第二面連接，所述磁性框體具有開口，且所述開口與各所述加工孔相互連通，所述磁性框體用于與各所述磁性塊磁性相吸，以使得所述非磁性蓋板將各壓電元件一一固定在各所述蝕刻槽內。

在一個實施例中，所述載船的中部設置有工作區，所述載船的第一面上開設有多個容置槽，各所述容置槽均勻環繞設置在所述工作區的外側，且各所述容置槽依次間隔設置，每一所述磁性塊與一所述容置槽的側壁連接。

在一個實施例中，各所述磁性塊包括第一磁塊和第二磁塊，各所述容置槽包括第一容納槽和第二容納槽，各所述第一容納槽和各第二容納槽一一相互間隔設置，且每一所述第一磁塊與一所述第一容納槽的側壁連接，每一所述第二磁塊與一所述第二容納槽的側壁連接。

在一個實施例中，還包括磁性固位條，所述磁性固位條與所述載船的一端連接，所述磁性固位條用于使得所述載船吸附在外部磁性用具上。

在一個實施例中，還包括連接件，所述連接件的一端與所述載船連接，所述連接件的另一端與所述載盤、所述非磁性蓋板以及所述磁性框體活動連接。在一個實施例中，所述連接件設置為定位銷，所述載船開設有第一定位孔，所述載盤開設有第二定位孔，所述非磁性蓋板開設有第三定位孔，所述磁性框體開設有第四定位孔，所述定位銷的一端與所述第一定位孔的側壁連接，所述連接件的另一端與所述第二定位孔的側壁、所述第三定位孔的側壁以及所述第四定位孔的側壁活動連接。

在一個實施例中，還包括第一支撐軸承和第二支撐軸承，所述第一支撐軸承與所述載船的一側轉動連接，所述第二支撐軸承與所述載船的另一側轉動連接，所述第一支撐軸承與所述第二支撐軸承相互間隔且相互平行設置。