[實用新型]一種單晶爐水冷熱屏對中升降裝置

有效

• 申請號: 202222601499.4
• 申請日: 2022-09-27
• 公開（公告）號: CN218596569U
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發明（設計）人: 袁華中;謝劍舟;陳妙榮;朱一鳴;來迪文;史冰冰
• 申請（專利權）人: 浙江精功科技股份有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 天津市創知聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 12267
• 代理人: 耿樹志

本實用新型涉及一種單晶爐水冷熱屏對中升降裝置，包括以爐蓋為中心對稱設置的左升降單元和右升降單元，還包括對中單元和電機。升降過程中，電機驅動，經減速機和聯軸器配合帶動左右升降單元中的直線模組同時移動，接著，與直線模組依次通過連接角座及連接法蘭連接的波紋管跟隨一起運動，從而帶動水冷熱屏的對稱桿上升或下降。通過調節對中單元中的對中螺釘推動波紋管的下法蘭、鋼套及四氟套，帶動水冷熱屏的對稱桿水平移動，實現水冷熱屏位置移動，最終位于中心位置。本實用新型進一步優化了水冷熱屏升降裝置的結構，通過采用對中單元實現了單晶爐水冷熱屏升降裝置的對中調節，保證水冷熱屏與晶棒處于同心，提高了單晶生產效率。

技術領域

本實用新型屬于單晶制造設備技術領域，尤其是涉及一種單晶爐水冷熱屏對中升降裝置。

背景技術

單晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一。直拉單晶爐在拉晶過程中，為提高拉晶效率及降低設備能耗，現有的太陽能級單晶爐均引入了水冷熱屏，通過水冷熱屏的冷卻功能來帶走晶棒的熱量，加快散熱，提高拉速從而增加產能。過去的單晶爐采用固定水冷熱屏的方式，沒有水冷熱屏升降裝置，這樣容易造成晶棒冷卻不均勻，晶棒成品率低等問題。2019年2月12日公開的中國實用新型專利“帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐”(CN208485982U)，包括單晶爐爐蓋、以及安裝該單晶爐爐蓋上的升降裝置，升降裝置包括安裝在單晶爐爐蓋上的安裝座、水冷熱屏連接管，安裝座一端設置安裝底板，另一端設有波紋管，波紋管下端固定在安裝座上，上端安裝在安裝支架上，安裝底板上設置直線導軌，直線導軌上安裝滑動模組，滑動模組在所述直線導軌上的運動方向與波紋管軸線方向平行。該種形式的升降裝置減少了人工晶棒拉制的時間和勞動強度，提高控制的準確性；利用滑動模組實現水冷熱屏的升降，降低晶棒拉制等因素對設備的影響。

但是一個均勻穩定的溫度場對拉晶也是至關重要，若水冷熱屏存在偏置，將導致晶棒周圍溫度場存在冷熱偏差，從而出現位錯導致斷線，嚴重時將無法成晶。而現有的水冷熱屏提升裝置都是固定式的，安裝完之后無法再進行位置調整，無法保證水冷熱屏與晶棒處于同心，因此降低了單晶生產效率。

發明內容

有鑒于此，本實用新型旨在提出一種單晶爐水冷熱屏對中升降裝置，以解決現有技術中存在的水冷熱屏提升裝置都是固定式無法進行位置調整，無法保證水冷熱屏與晶棒處于同心，降低了單晶生產效率的問題。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

提供一種單晶爐水冷熱屏對中升降裝置，包括以爐蓋為中心對稱設置的左升降單元和右升降單元，還包括對中單元和電機。所述左升降單元和右升降單元通過聯軸器和軟軸連接，還分別與水冷熱屏左右兩邊的對稱桿通過螺母固定連接。所述左升降單元和右升降單元的結構相同，均包括安裝座、波紋管、直線模組和減速機，所述波紋管的上端法蘭與連接法蘭固定連接后，通過螺母與所述對稱桿固定連接，所述波紋管的下端法蘭通過螺釘一與安裝座連接.所述連接法蘭通過螺釘二與連接角座連接，連接角座另一邊與直線模組連接。所述直線模組和減速機位于所述安裝座兩側，且兩者之間通過聯軸器軸對接。所述電機與左升降單元的減速機通過聯軸器軸對接，所述對中單元設置于兩個升降單元的安裝座上，且位于兩個升降單元波紋管的下部。

進一步的，所述對中單元包括對中螺釘、對中環和鋼套，對中螺釘在每個對中單元上設置三個，分別與所述對中環螺紋連接，且圍繞所述對中環圓周均勻分布，所述對中螺釘的頭部與所述波紋管的下法蘭外側面接觸。所述鋼套內置于所述波紋管的下法蘭的臺階內，且所述鋼套內嵌套環，所述套環卡住所述水冷熱屏的對稱桿。

進一步的，所述套環為四氟套。

進一步的，還包括同步檢測單元，所述同步檢測單元安裝在兩個升降單元的頂部，對水冷熱屏升降運動同步性進行檢測。

進一步的，所述同步檢測單元為具有計數或感應功能的電子元器件。

進一步的，所述同步檢測單元為編碼器或接近開關。