[實用新型]一種晶圓工作臺用偏差矯正機構

有效

• 申請號: 202222596169.0
• 申請日: 2022-09-29
• 公開（公告）號: CN218471920U
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 沈吉;陳誠;湯介峰;荊泉;陳力鈞
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 鄭星

1.一種晶圓工作臺用偏差矯正機構，包括固定底座，其特征在于：所述固定底座的頂端固定安裝有旋轉工作臺，所述旋轉工作臺的內部具有空腔，所述旋轉工作臺的底端連通有真空泵，所述旋轉工作臺的頂端固定安裝有三角板，所述固定底座的頂端固定安裝有承載臺；

所述承載臺的內部豎直貫穿有多組通孔，所述通孔內滑動安裝有硅膠滑板，所述硅膠滑板的頂端固定安裝有豎直圓桿，所述硅膠滑板的底端固定安裝有彈簧，所述彈簧固定連接于旋轉工作臺的內壁。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓工作臺用偏差矯正機構，其特征在于：所述承載臺的頂端吸附有晶圓片，所述晶圓片的一側設置有缺口，所述晶圓片的頂端固定安裝有校準器。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓工作臺用偏差矯正機構，其特征在于：所述固定底座的側壁固定安裝有弧形底座，所述弧形底座的頂端固定安裝有豎直立柱，所述豎直立柱的頂端固定安裝有紅外線傳感器，所述豎直立柱的表面固定安裝有環形齒輪一，所述環形齒輪一的頂端與旋轉工作臺的底端相齊平。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓工作臺用偏差矯正機構，其特征在于：所述環形齒輪一朝向旋轉工作臺的表面設置有齒條一，所述旋轉工作臺的表面固定安裝有環形齒輪二，所述齒條一在環形齒輪一的表面鋪設范圍為四分之一圓周面，所述齒條二在環形齒輪二的表面鋪設范圍為四分之一圓周面。

5.根據權利要求2所述的一種晶圓工作臺用偏差矯正機構，其特征在于：所述旋轉工作臺的表面固定安裝有圓形桿套，所述圓形桿套的內部轉動連接有豎直轉桿，所述豎直轉桿的頂端固定安裝有定位基座，所述定位基座與晶圓片的缺口相適配。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓工作臺用偏差矯正機構，其特征在于：所述豎直轉桿的表面固定安裝有兩組圓柱齒輪，一組所述圓柱齒輪固定連接于豎直轉桿的底端，一組所述圓柱齒輪與齒條一以及齒條二呈嚙合狀態設置，另一組所述定位基座固定安裝于豎直轉桿的表面。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓工作臺用偏差矯正機構，其特征在于：另一組所述定位基座的底端貼合有滑臺，所述滑臺的表面滑動安裝有兩組U型直齒條，另一組所述圓柱齒輪與滑臺之間呈嚙合狀態設置。

8.根據權利要求7所述的一種晶圓工作臺用偏差矯正機構，其特征在于：所述滑臺轉動連接于定位基座的表面，且U型直齒條與校準器呈相抵狀態設置。