[實用新型]一種探針盒取放工具

有效

• 申請號: 202222587988.9
• 申請日: 2022-09-27
• 公開（公告）號: CN218546788U
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發明（設計）人: 凡浩
• 申請（專利權）人: 廣州粵芯半導體技術有限公司
• 主分類號: G01Q60/38
• 分類號: G01Q60/38
• 代理公司: 深圳市嘉勤知識產權代理有限公司 44651
• 代理人: 劉婧

本申請公開一種探針盒取放工具，屬于原子力顯微鏡技術領域。該探針盒取放工具包括基座、探針盒定位座以及探針盒夾持組件；探針盒定位座的一端凹設有與機臺定位柱定位配合的引導槽，探針盒定位座的另一端與基座活動連接，以遠離或靠近基座運動；探針盒夾持組件安設在基座的一側表面上，以活動夾持定位在探針盒定位座上的探針盒。本申請技術方案，其可在原子力顯微鏡進行探針更換過程中，輔助人手快速完成探針盒的取放更換操作，以有效提升其操作便捷性及降低其操作難度。

技術領域

本申請屬于原子力顯微鏡技術領域，尤其涉及一種探針盒取放工具。

背景技術

現有結構中，原子力顯微鏡的用于量測的探針需要定期更換，探針是尖端直徑只有10nm，長2000nm的錐狀物，非常脆弱，因而，其探針都裝載在探針盒中，探針更換時需更換整個探針盒?，F有的探針更換流程是通過人手直接先將舊的探針盒取出，更換后再通過人手直接將新的探針盒放回機臺。然而，由于原子力顯微鏡的機臺內部空間狹小，導致人手直接取放探針盒的可操作空間極小，操作極其不便，同時實現探針盒準確放置的定位孔極小，導致在狹小的操作空間中實現探針盒的準確放置難度極大。

實用新型內容

本申請實施例提供一種探針盒取放工具，旨在改善現有技術采用人手直接取放探針盒來實現原子力顯微鏡的探針更換，操作極其不便且實現探針盒的準確放置難度極大的問題。

第一方面，本申請實施例提供一種探針盒取放工具，包括基座、探針盒定位座以及探針盒夾持組件；所述探針盒定位座的一端凹設有與機臺定位柱定位配合的引導槽，所述探針盒定位座的另一端與所述基座活動連接，以遠離或靠近所述基座運動；所述探針盒夾持組件安設在所述基座的一側表面上，以活動夾持定位在所述探針盒定位座上的探針盒。

可選地，在一些實施例中，所述探針盒定位座的一側表面設置有探針盒限位槽，以將所述探針盒定位在所述探針盒定位座上。

可選地，在一些實施例中，所述探針盒定位座的一側表面凸設有兩L型凸起部，所述兩L型凸起部相對設置，以圍設形成所述探針盒定位槽，以對所述探針盒鄰近所述基座所在的一側兩個邊角進行限位。

可選地，在一些實施例中，所述探針盒定位座的一端凹設有兩個所述引導槽，且兩個所述引導槽均為U型槽體。

可選地，在一些實施例中，還包括至少一個滑桿，所述滑桿的一端固設在探針盒定位座的另一端上，所述滑桿的另一端沿所述基座的長度方向活動貫穿所述基座設置，以實現所述探針盒定位座的另一端與所述基座之間的活動連接。

可選地，在一些實施例中，所述基座沿其長度方向至少開設有一個通孔，所述滑桿穿過相應的所述通孔，以沿所述基座的長度方向活動貫穿所述基座設置。

可選地，在一些實施例中，所述滑桿的長度大于所述通孔的長度。

可選地，在一些實施例中，所述滑桿的直徑小于所述通孔的直徑。

可選地，在一些實施例中，所述探針盒夾持組件包括第一夾持桿體和第二夾持桿體；所述第一夾持桿體的中部與所述第二夾持桿體的中部交錯設置，且所述第一夾持桿體的中部與所述第二夾持桿體的中部之間的交接點通過一定位螺絲安設在所述基座的一側表面上；所述第一夾持桿體的一端與所述第二夾持桿體的一端平行設置，以形成所述探針盒夾持組件的夾持端；所述第一夾持桿體的另一端與所述第二夾持桿體的另一端平行設置，且所述第一夾持桿體的另一端與所述第二夾持桿體的另一端之間連接有壓縮彈簧，以形成所述探針盒夾持組件的操作端。

可選地，在一些實施例中，所述第一夾持桿體的一端與所述第二夾持桿體的一端均套設有防滑膠體。