[實(shí)用新型]一種氣相沉積爐用均勻進(jìn)氣的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222565652.2
• 申請(qǐng)日: 2022-09-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218465938U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 奚衍罡
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州冠嵐新材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/455
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/455;C23C16/44
• 代理公司: 江蘇南通瀛信專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 32579
• 代理人: 郝鵬

1.一種氣相沉積爐用均勻進(jìn)氣的裝置，包括氣相沉積爐(1)，其特征在于，所述氣相沉積爐(1)的頂端內(nèi)壁固定連接有連接管(6)，且連接管(6)的外壁固定卡接有法蘭(7)，所述連接管(6)的內(nèi)壁設(shè)置有止回閥(8)，且連接管(6)的底端內(nèi)壁焊接有錐體外蓋(9)，所述錐體外蓋(9)的底端內(nèi)壁焊接有連接環(huán)(10)，且連接環(huán)(10)的底端內(nèi)壁焊接有錐體混合腔(11)，所述錐體混合腔(11)的底端內(nèi)壁焊接有底殼(12)，且底殼(12)的內(nèi)壁等密度設(shè)置有多個(gè)出氣口(20)，多個(gè)所述出氣口(20)的一側(cè)內(nèi)壁設(shè)置有合頁(yè)(18)，且出氣口(20)的內(nèi)壁通過(guò)合頁(yè)(18)連接有擋片(19)，所述擋片(19)的一側(cè)外壁固定連接有連接塊(21)，且連接塊(21)的頂端外壁固定連接有彈簧(22)，所述彈簧(22)的另一端同時(shí)連接有支架(23)，且支架(23)固定在底殼(12)的內(nèi)壁。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣相沉積爐用均勻進(jìn)氣的裝置，其特征在于，所述底殼(12)的內(nèi)壁設(shè)置有多個(gè)凹槽(17)，且凹槽(17)與出氣口(20)相連，所述合頁(yè)(18)設(shè)置在凹槽(17)的內(nèi)部，且合頁(yè)(18)的一側(cè)外壁連接凹槽(17)的一側(cè)內(nèi)壁。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣相沉積爐用均勻進(jìn)氣的裝置，其特征在于，所述底殼(12)的底端內(nèi)壁固定連接有底座(13)，所述底座(13)的頂端外壁固定連接有多個(gè)諧振器(14)，且多個(gè)諧振器(14)包括有兩個(gè)諧振片。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氣相沉積爐用均勻進(jìn)氣的裝置，其特征在于，所述錐體混合腔(11)的底端內(nèi)壁設(shè)置有多個(gè)透氣孔(15)，且多個(gè)透氣孔(15)的設(shè)置位置位于多個(gè)諧振器(14)的正上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣相沉積爐用均勻進(jìn)氣的裝置，其特征在于，所述氣相沉積爐(1)的一側(cè)外壁固定連接有底架(3)，所述底架(3)的頂端外壁通過(guò)螺母連接有氣體傳輸泵(4)，且氣體傳輸泵(4)包括輸出端和輸入端。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種氣相沉積爐用均勻進(jìn)氣的裝置，其特征在于，所述氣體傳輸泵(4)的輸出端固定連接有出氣管(5)，且氣體傳輸泵(4)的輸入端固定連接有輸氣管(2)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種氣相沉積爐用均勻進(jìn)氣的裝置，其特征在于，所述錐體外蓋(9)的一側(cè)內(nèi)壁設(shè)置有連接口(16)，且出氣管(5)與連接口(16)相連，所述輸氣管(2)的一端固定于氣相沉積爐(1)的內(nèi)部。