[實用新型]一種水冷系統及PECVD設備

有效

• 申請號: 202222543971.3
• 申請日: 2022-09-26
• 公開（公告）號: CN218232570U
• 公開（公告）日: 2023-01-06
• 發明（設計）人: 郭玉雷;林佳繼;劉群;張武
• 申請（專利權）人: 深圳市拉普拉斯能源技術有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

1.一種水冷系統，其特征在于，包括：

冷卻結構(100)，所述冷卻結構(100)設置爐體(200)上，所述冷卻結構(100)包括前爐門組件(110)和后爐門組件(120)，所述前爐門組件(110)設置在所述爐體(200)的爐口處，所述后爐門組件(120)設置在所述爐體(200)的爐尾處，所述前爐門組件(110)內設有第一冷卻流道，所述后爐門組件(120)內設有第二冷卻流道，所述第一冷卻流道的一端與進液管路(300)連通，所述第一冷卻流道的另一端與所述第二冷卻流道連通，所述第二冷卻流道與出液管路(400)連通。

2.根據權利要求1所述的水冷系統，其特征在于，所述前爐門組件(110)包括依次設置第一法蘭(111)、第二法蘭(112)和第三法蘭(113)，所述第一法蘭(111)內設有第一水道(1113)，所述第二法蘭(112)內設有第二水道(1123)，所述第三法蘭(113)內設有第三水道(1133)，所述第一水道(1113)、所述第二水道(1123)與所述第三水道(1133)之間連通，所述第一水道(1113)與所述進液管路(300)連通，所述第三水道(1133)與所述第二冷卻流道連通。

3.根據權利要求2所述的水冷系統，其特征在于，包括以下至少一種構造：所述第一法蘭(111)上設有第一環形槽和第一密封環(1114)，所述第一環形槽和所述第一密封環(1114)密封連接形成所述第一水道(1113)；

所述第二法蘭(112)上設有第二環形槽和第二密封環，所述第二環形槽和所述第二密封環密封連接形成所述第二水道(1123)；

所述第三法蘭(113)上設有第三環形槽和第三密封環，所述第三環形槽和所述第三密封環密封連接形成所述第三水道(1133)。

4.根據權利要求2所述的水冷系統，其特征在于，所述第一法蘭(111)包括相鄰設置的第一進口(1111)和第一出口(1112)，所述第一水道(1113)呈環形，所述第一進口(1111)和所述第一出口(1112)均與所述第一水道(1113)連通，所述第一進口(1111)和所述第一出口(1112)通過第一隔板(1115)分隔，所述第一進口(1111)與所述進液管路(300)連通；

所述第二法蘭(112)包括相鄰設置的第二進口(1121)和第二出口(1122)，所述第二水道(1123)呈環形，所述第二進口(1121)和所述第二出口(1122)均與所述第二水道(1123)連通，所述第二進口(1121)和所述第二出口(1122)之間通過第二隔板分隔，所述第一出口(1112)與所述第二進口(1121)連通；

所述第三法蘭(113)包括相鄰設置的第三進口(1131)和第三出口(1132)，所述第三水道(1133)呈環形，所述第三進口(1131)和所述第三出口(1132)均與所述第三水道(1133)連通，所述第三進口(1131)和所述第三出口(1132)之間通過第三隔板分隔，所述第三進口(1131)與所述第二出口(1122)連通，所述第三出口(1132)與所述第二冷卻流道連通。

5.根據權利要求4所述的水冷系統，其特征在于，第一進口(1111)、所述第二進口(1121)和所述第三進口(1131)之間錯位設置。

6.根據權利要求1所述的水冷系統，其特征在于，所述前爐門組件(110)包括第四法蘭(114)和第一密封套，所述第四法蘭(114)上設有第一螺旋槽，所述第一密封套環設于所述第四法蘭(114)上，所述第一密封套與所述第一螺旋槽之間形成第四水道(1141)，所述第四水道(1141)的兩端分別與所述進液管路(300)和所述第二冷卻流道連通。

7.根據權利要求1所述的水冷系統，其特征在于，所述前爐門組件(110)包括第一密封套，所述爐體(200)的外側壁上設有第一螺旋槽，所述第一密封套環設于所述第一螺旋槽上，所述第一密封套與所述第一螺旋槽之間形成第四水道(1141)，所述第四水道(1141)的兩端分別與所述進液管路(300)和所述第二冷卻流道連通。