[實用新型]一種半導體低溫泵測試裝置

有效

• 申請號: 202222543813.8
• 申請日: 2022-09-26
• 公開（公告）號: CN218563864U
• 公開（公告）日: 2023-03-03
• 發明（設計）人: 李東成;姚戰立;湯洪明
• 申請（專利權）人: 蘇州八匹馬超導科技有限公司
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00
• 代理公司: 江蘇坤象律師事務所 32393
• 代理人: 夏純;趙新民

本實用新型公開了一種半導體低溫泵測試裝置，屬于低溫泵技術領域。本實用新型包括支架、套在待測半導體低溫泵上的測試罩及與測試罩固定連接的旋轉架，支架包括第一橫柱、第二橫柱及連接第一橫柱與第二橫柱的立柱，旋轉架兩端設置有第一旋轉軸與第二旋轉軸，第一旋轉軸與第二旋轉轉動安裝在第二橫柱上，第一旋轉軸連接轉盤，通過轉盤帶動所述旋轉架轉動，轉盤下方安裝有用于使轉盤保持靜止的鎖定結構。本實用新型提供的一種半導體低溫泵測試裝置可實現半導體低溫泵任意角度安裝定位，從而評估低溫泵在不同角度下的使用性能。

技術領域

本實用新型涉及低溫泵技術領域，具體涉及一種半導體低溫泵測試裝置。

背景技術

在半導體元器件的制造工藝中，許多需要高真空、高清潔度或低溫的環境，在這些方面半導體低溫泵具有非常明顯的優勢。半導體低溫泵在設備的真空腔體內部沒有運動部件，無需潤滑和密封，不會給真空腔體帶入任何外來物質，因此可以獲得高清潔度的真空環境。

半導體低溫泵的制冷機活塞有膠木和不銹鋼兩種，內部填裝金屬網片和鉛球，整體質量比較大。而與活塞配套使用的氣缸，確是薄壁圓筒結構，最薄處僅1mm左右，受外力較大時，易發生彈性彎曲變形甚至塑性變形，影響正常工作。氣缸最佳安裝方向為豎直方向，可以避免受重力影響導致的氣缸發生彈性彎曲變形、活塞與氣缸受局部磨損、甚至異響。

半導體低溫泵安裝方式多種多樣，可以立式安裝、臥式安裝，還可以傾斜安裝，具體采用哪種安裝方式，需要綜合考慮安裝空間大小和操作、維修方便等多種因素。不同安裝方式，可能會對半導體低溫泵的性能和制冷機使用壽命造成影響。為了評估不同安裝方式對半導體低溫泵性能和制冷機使用壽命的影響，設計了一種半導體低溫泵測試裝置，用以實現半導體低溫泵各種角度的安裝定位。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的不足，本實用新型的目的在于提供一種半導體低溫泵測試裝置。

為實現上述部分或全部或其他目的，本實用新型提供以下技術方案：

一種半導體低溫泵測試裝置，包括支架、套在待測半導體低溫泵上的測試罩及與所述測試罩固定連接的旋轉架，所述支架包括第一橫柱、第二橫柱及連接所述第一橫柱與第二橫柱的立柱，所述旋轉架兩端設置有第一旋轉軸與第二旋轉軸，所述第一旋轉軸與所述第二旋轉轉動安裝在所述第二橫柱上，所述第一旋轉軸連接轉盤，通過所述轉盤帶動所述旋轉架轉動，所述轉盤下方安裝有用于使所述轉盤保持靜止的鎖定結構。

在測試過程中，將待測半導體低溫泵固定在旋轉架中，此時測試罩套在待測半導體低溫泵上，通過旋轉轉盤調整旋轉架的角度，進而調整待測半導體低溫泵的測試角度，當調整至所需角度時通過所述鎖定結構保持所述旋轉架及待測半導體低溫泵靜止。

所述立柱包含相互平行放置的第一立柱與第二立柱，所述第二橫柱短于所述第一橫柱，在所述第二橫柱一端垂直所述第一橫柱活動連接所述第一立柱。通過所述立柱為待測半導體低溫泵提供支撐力。

所述鎖定結構包括第二定位塊，所述第二定位塊中插入旋鈕柱塞軸向鎖定所述旋轉架及所述轉盤。通過所述第二定位塊與所述旋鈕柱塞軸向固定所述旋轉架，進而固定待測半導體低溫泵。

所述第一橫柱底部設置有滑輪便于移動測試裝便于移動測試裝置。

所述支架使用方形空心型鋼焊接而成。

所述旋轉架包含外環及內環，所述外環內周設置有凹槽，與設置在內環外周的突起相契合，所述測試罩安裝于內環上。通過設置內環與外環使得旋轉架為待測半導體低溫泵提供周向角度變化。

所述旋轉架外周側面設置有可調手柄，通過所述可調手柄可360度調整套裝于所述旋轉架的周向角度中的，進而調整所述測試罩，帶動待測半導體低溫泵的周向角度調整，所述內環與所述外環通過第一定位塊固定。通過所述可調手柄與所述第一定位塊便于調節和固定待測半導體低溫泵的周向角度。