[實用新型]一種電鍍洗邊裝置

有效

• 申請號: 202222536481.0
• 申請日: 2022-09-23
• 公開（公告）號: CN218101197U
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 拉海忠;閆曉暉
• 申請（專利權）人: 上海積塔半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687;C25D5/48
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種電鍍洗邊裝置，其特征在于，所述電鍍洗邊裝置至少包括：

洗邊腔室；

承載單元，所述承載單元位于所述洗邊腔室內，水平承載晶圓，且帶動所述晶圓繞垂直于水平面的所述承載單元中心軸旋轉；

噴嘴單元，所述噴嘴單元位于所述洗邊腔室內，包括噴嘴、噴嘴固定桿及供液管，所述噴嘴通過所述噴嘴固定桿固定于所述晶圓邊緣上方設定偏向角處，所述供液管與所述噴嘴連通以向所述噴嘴提供洗邊液；

噴嘴轉動單元，所述噴嘴轉動單元與所述噴嘴固定桿連接，且通過所述噴嘴轉動單元帶動所述噴嘴固定桿進行往復轉動以轉換所述噴嘴的偏向角。

2.根據權利要求1所述的電鍍洗邊裝置，其特征在于：所述承載單元包括卡盤、卡盤固定旋轉臺，所述卡盤固定于所述卡盤固定旋轉臺的末端，多個所述卡盤繞所述晶圓圓周均勻分布以固定所述晶圓。

3.根據權利要求2所述的電鍍洗邊裝置，其特征在于：所述承載單元還包括晶圓承載板，所述晶圓承載板位于所述卡盤上以承載所述晶圓。

4.根據權利要求2所述的電鍍洗邊裝置，其特征在于：所述卡盤為調節式卡盤，以調節所述卡盤與所述卡盤固定旋轉臺中心之間距離固定不同大小的所述晶圓。

5.根據權利要求1所述的電鍍洗邊裝置，其特征在于：所述噴嘴轉動單元包括轉動電機，所述轉動電機能夠以設定的時間間隔進行轉動。

6.根據權利要求1所述的電鍍洗邊裝置，其特征在于：所述承載單元帶動所述晶圓逆時針旋轉時，所述噴嘴轉動單元帶動所述噴嘴轉動至第一偏向角處，所述承載單元帶動所述晶圓順時針旋轉時，所述噴嘴轉動單元帶動所述噴嘴轉動至第二偏向角處，其中，所述第二偏向角與所述第一偏向角關于所述噴嘴固定桿與所述晶圓中心連線對稱。

7.根據權利要求6所述的電鍍洗邊裝置，其特征在于：所述第一偏向角與所述第二偏向角的夾角取值范圍為0°～10°。

8.根據權利要求1所述的電鍍洗邊裝置，其特征在于：所述噴嘴單元、所述噴嘴轉動單元一一對應設置，數量為N，其中N≥1，且當N＞1時，所述噴嘴單元沿所述晶圓的圓周均勻分布。

9.根據權利要求1所述的電鍍洗邊裝置，其特征在于：所述供液管的管路上設置有開關。

10.根據權利要求1所述的電鍍洗邊裝置，其特征在于：所述電鍍洗邊裝置還設置有噴水管。