[實用新型]一種卷對卷曝光裝置

有效

• 申請號: 202222525228.5
• 申請日: 2022-09-23
• 公開（公告）號: CN219435213U
• 公開（公告）日: 2023-07-28
• 發明（設計）人: 陳國軍;馬迪;吳景舟
• 申請（專利權）人: 迪盛（武漢）微電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州集律知識產權代理事務所(普通合伙) 32269
• 代理人: 安紀平

1.一種卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述卷對卷曝光裝置包括卷收卷、拉料機構、曝光機構、張緊機構和卷放卷，所述卷收卷和卷放卷之間設置所述拉料機構、曝光機構和張緊機構，所述卷收卷和曝光機構之間設置所述拉料機構，所述曝光機構與所述卷放卷之間設置所述張緊機構，所述卷放卷中的卷料經所述張緊機構、曝光機構、拉料機構進入所述卷收卷中，且所述卷料通過所述張緊機構張緊。

2.如權利要求1所述的卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述張緊機構包括支撐件和張緊桿，所述張緊桿與所述支撐件相樞接，且所述張緊桿位于樞接點的一側設有用于使卷料張緊的張緊輪，所述卷放卷中的卷料環繞所述張緊輪后進入所述曝光機構中。

3.如權利要求2所述的卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述張緊桿位于樞接點的一側設有配重件。

4.如權利要求1所述的卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述曝光機構包括：

卷料吸附件，所述卷料吸附件設于所述卷料的下方；

曝光鏡頭，所述曝光鏡頭設于所述卷料的上方并可沿卷料移動方向移動。

5.如權利要求4所述的卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述卷料吸附件為吸盤。

6.如權利要求4所述的卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述曝光機構還包括用于抬升卷料的抬升機構，所述卷料吸附件的兩側均設置一所述抬升機構。

7.如權利要求6所述的卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述抬升機構包括舉升件和用于驅動所述舉升件上升或下降的驅動件，所述舉升件與所述驅動件相連。

8.如權利要求4所述的卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述曝光機構還包括對位鏡頭，所述對位鏡頭設于所述卷料的上方并與所述曝光鏡頭同步移動。

9.如權利要求8所述的卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述對位鏡頭與所述曝光鏡頭安裝于一體。

10.如權利要求1所述的卷對卷曝光裝置，其特征在于，所述拉料機構包括夾持件和驅動所述夾持件移動預設距離的移動件，所述夾持件與所述移動件相連。