[實用新型]一種臺階儀用裝片載臺

有效

• 申請號: 202222517712.3
• 申請日: 2022-09-22
• 公開（公告）號: CN218723709U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 洪加添;何勇
• 申請（專利權）人: 福建兆元光電有限公司
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06
• 代理公司: 福州市博深專利事務所(普通合伙) 35214
• 代理人: 謝子能

本實用新型涉及臺階儀的裝片技術領域，具體涉及一種臺階儀用裝片載臺，包括片源和設置在所述臺階儀的底座上的裝片載臺；所述片源的側邊設置有第一直邊；所述裝片載臺頂部設置有盲孔，所述盲孔具有與第一直邊相適配的第二直邊。本實用新型在臺階儀的底座上增設裝片載臺，在裝片載臺頂部設置具有第二直邊的盲孔，并同時在片源的側邊設置與第二直邊相適配的第一直邊，進而片源在放入裝片載臺的盲孔內時，利用第一直邊與第二直邊相互抵接，使得每次放置的片源位置均固定，進而保證每片片源測量的點位均在相同的位置。

技術領域

本實用新型涉及臺階儀的裝片技術領域，尤其涉及一種臺階儀用裝片載臺。

背景技術

臺階儀又稱薄膜測厚儀或段差分析儀，是一種接觸式精密量測儀器，主要用移動探針來測量微米甚至納米級別的微觀尺寸。LED芯片在制程過程中需要監控刻蝕厚度或蒸鍍薄膜能否達到工藝要求。因此在每批片源加工后，需將片源放到臺階儀的裝片載臺上用移動探針進行厚度測量。然而目前的裝片載臺和片源之間未有定位措施，使得每次放置于裝片載臺的片源位置均不固定，進而每片片源測量的點位均在不同的位置，導致操作人員需要目測位置后，以較大幅度的移動探針進行測量，此種方式不僅無法保證片源的測量在統一區域，而且大幅度的移動探針極大影響作業效率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種臺階儀用裝片載臺，能夠實現對片源與裝片載臺上的定位，保證每片片源測量的點位均在相同的位置。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：一種臺階儀用裝片載臺，包括片源和設置在所述臺階儀的底座上的裝片載臺；所述片源的側邊設置有第一直邊；

所述裝片載臺頂部設置有盲孔，所述盲孔具有與第一直邊相適配的第二直邊。

進一步地，所述盲孔包括多個同軸設置的孔槽，且所述孔槽朝向裝片載臺的底部方向直徑逐漸減小，每個所述孔槽均設置有第二直邊。

進一步地，所述裝片載臺設置有取片缺口，所述取片缺口與每個所述孔槽連通。

進一步地，所述孔槽的深度為0.4mm至0.6mm。

進一步地，上述一種臺階儀用裝片載臺還包括鎖緊組件；所述鎖緊組件包括定位柱和緊固螺絲；所述定位柱設置在所述臺階儀的底座與所述裝片載臺之間，所述裝片載臺上設置有定位孔，所述緊固螺絲穿過定位孔與定位柱螺紋連接。

本實用新型的有益效果在于：在臺階儀的底座上增設裝片載臺，在裝片載臺頂部設置具有第二直邊的盲孔，并同時在片源的側邊設置與第二直邊相適配的第一直邊，進而片源在放入裝片載臺的盲孔內時，利用第一直邊與第二直邊相互抵接，使得每次放置的片源位置均固定，進而保證每片片源測量的點位均在相同的位置。

附圖說明

圖1為本實用新型在具體實施方式中的一種臺階儀用裝片載臺的裝片載臺剖面結構示意圖；

圖2為本實用新型在具體實施方式中的一種臺階儀用裝片載臺的裝片載臺俯視結構示意圖；

圖3為本實用新型在具體實施方式中的一種臺階儀用裝片載臺的片源結構示意圖；

圖4為本實用新型在具體實施方式中的一種臺階儀用裝片載臺的裝配結構示意圖；

標號說明：

1、片源；11、第一直邊；

2、裝片載臺；21、盲孔；211、第二直邊；22、取片缺口；23、定位孔；

3、定位柱。

具體實施方式

為詳細說明本實用新型的技術內容、所實現目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖予以說明。