[實用新型]一種開放式晶圓匣搬運車

有效

• 申請號: 202222514631.8
• 申請日: 2022-09-22
• 公開（公告）號: CN218414521U
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發明（設計）人: 鐘勇;張泉偉;劉星宇
• 申請（專利權）人: 廣東長虹智能制造技術有限公司;四川長虹智能制造技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/673
• 代理公司: 北京知迪知識產權代理有限公司 11628
• 代理人: 王勝利

本實用新型公開一種開放式晶圓匣搬運車，涉及開放式晶圓匣搬運設備技術領域，以解決開放式晶圓匣搬運效率低的問題。所述開放式晶圓匣搬運車一種開放式晶圓匣搬運車，包括主體結構，主體結構上設置有用于承載開放式晶圓匣的承載結構、用于實現開放式晶圓匣移送/釋放動作的執行機構以及用于實現主體結構移動的行走機構，執行機構包括夾緊組件和驅動夾緊組件運動的驅動裝置，驅動裝置驅動夾緊組件運動靠近或遠離開放式晶圓匣，夾緊組件用于夾緊或松開開放式晶圓匣，所述開放式晶圓匣搬運車用于搬運開放式晶圓匣。

技術領域

本實用新型涉及開放式晶圓匣搬運設備技術領域，尤其涉及一種開放式晶圓匣搬運車。

背景技術

開放式晶圓匣(Open Cassette)是半導體一種常用的晶圓臨時存儲裝置，其周向具有開口，以便于晶圓的存取。在晶圓的加工運輸過程中，通常需要利用開放式晶圓匣將晶圓搬運至不同位置，目前常采用人工搬運的方式搬用開放式晶圓匣，但人工搬運耗時耗力，影響開放式晶圓匣的搬運效率，導致開放式晶圓匣搬運不方便。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種開放式晶圓匣搬運車，以提高開放式晶圓匣的搬運效率，使得開放式晶圓匣搬運更加方便。

為了實現上述目的，本實用新型提供一種開放式晶圓匣搬運車，包括主體結構，主體結構上設置有用于承載開放式晶圓匣的承載結構、用于實現開放式晶圓匣移送/釋放動作的執行機構以及用于實現主體結構移動的行走機構，執行機構包括夾緊組件和驅動夾緊組件運動的驅動裝置，驅動裝置驅動夾緊組件運動靠近或遠離開放式晶圓匣，夾緊組件用于夾緊或松開開放式晶圓匣。

采用上述技術方案的情況下，主體結構上設置有用于承載開放式晶圓匣的承載結構和用于實現開放式晶圓匣移送/釋放動作的執行機構，執行機構包括夾緊組件和驅動夾緊組件運動的驅動裝置；采用這種結構，驅動裝置可以驅動夾緊組件運動靠近開放式晶圓匣，夾緊組件可以運動夾緊開放式晶圓匣，當開放式晶圓匣被夾緊后，驅動裝置可以帶動夾緊組件運動至指定搬運位置，實現執行機構的移送動作；當開放式晶圓匣放置時，夾緊組件可以運動松開開放式晶圓匣，驅動裝置可以驅動夾緊組件運動遠離開放式晶圓匣，實現開放式晶圓匣的釋放動作，從而可以通過驅動裝置與夾緊組件配合搬運開放式晶圓匣，采用開放式晶圓匣搬運車搬運開放式晶圓匣時，相對于現有技術中人工搬運省時省力，能夠提高開放式晶圓匣的搬運效率，使得開放式晶圓匣搬運更加方便；另外，主體結構上還設置有用于實現主體結構移動的行走機構，通過行走機構可以控制開放式晶圓匣搬運車移動，使得開放式晶圓匣能夠實現遠距離搬運。

在一些可能的實現方式中，夾緊組件包括定心抓手，定心抓手包括驅動器本體和兩個夾爪，驅動器本體驅動兩個夾爪相向運動實現夾緊，或者驅動兩個夾爪相背運動實現張開。如此設置，通過驅動器本體驅動兩個夾爪運動實現夾緊或張開，使得夾緊組件能夠夾緊或松開開放式晶圓匣，保證開放式晶圓匣運動時的穩定性。

在一些可能的實現方式中，開放式晶圓匣兩側相對設置有兩個邊肋，兩個夾爪的端部均設置有卡件，卡件和邊肋其中一個上設置有卡銷，另一個上設置有卡槽；

兩個夾爪夾緊開放式晶圓匣時，兩個夾爪的卡件分別夾緊在兩個邊肋上，卡銷與卡槽插接配合。如此設置，通過卡銷與卡槽插接配合，能夠使開放式晶圓匣夾緊后更加穩定。

在一些可能的實現方式中，卡件和邊肋至少一個上設置有保護墊；兩個夾爪夾緊開放式晶圓匣時，保護墊位于卡件和邊肋之間。如此設置，通過保護墊對卡件和邊肋進行保護，能夠防止卡件和邊肋碰撞后發生破損或刮傷。

在一些可能的實現方式中，夾緊組件還包括圖像采集設備，圖像采集設備用于采集開放式晶圓匣的圖像。如此設置，當圖像采集設備采集到開放式晶圓匣的圖像后，工作人員或控制裝置可以控制夾緊組件夾緊開放式晶圓匣，提高開放式晶圓匣搬運車的自動化程度。

在一些可能的實現方式中，夾緊組件還包括用于提供光源以便于圖像采集設備采集圖像的光源組件。如此設置，通過光源組件提高環境光亮，便于圖像采集設備采集開放式晶圓匣的圖像。