[實用新型]一種多面間接性超聲波清洗槽

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222514198.8
• 申請日: 2022-09-22
• 公開（公告）號: CN218282938U
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 左國軍;申斌;成旭;楊文濤;談麗文;何其斌;任金枝
• 申請（專利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00
• 代理公司: 北京和聯(lián)順知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11621
• 代理人: 彭正紅

本實用新型涉及泛半導(dǎo)體及半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多面間接性超聲波清洗槽，具有外槽，外槽設(shè)有石英內(nèi)槽，石英內(nèi)槽設(shè)有花籃，外槽設(shè)有多個對應(yīng)于石英內(nèi)槽的超聲波振子。本實用新型利用超聲波可以穿透特定厚度石英的特性，采用雙層槽結(jié)構(gòu)，外層槽設(shè)置成水浴槽，工件及藥液則在石英內(nèi)槽反應(yīng)。配置超聲波振子能夠利用水能傳導(dǎo)超聲波，穿透石英槽，使超聲波傳導(dǎo)至內(nèi)槽藥液中，對工件進(jìn)行超聲波清洗。此清洗過程中，超聲波振子不與石英內(nèi)槽內(nèi)的藥液直接接觸，可有效避免超聲波振子的腐蝕以及藥液的高溫影響，大大地延長了使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及泛半導(dǎo)體及半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多面間接性超聲波清洗槽。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的泛半導(dǎo)體及半導(dǎo)體清洗工藝中，因超聲波震子為不銹鋼集成件并且對環(huán)境溫度有要求，使部分高溫堿洗工藝及酸洗工藝受到了使用局限。目前通俗的做法是對超聲波震子的不銹鋼外殼做鍍鉻或者噴氟(含氟涂層)處理，因受表面震動影響，整體使用壽命不長，且此類方法不能使用在高溫藥液中。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種多面間接性超聲波清洗槽。

實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是：

一種多面間接性超聲波清洗槽，具有外槽，所述外槽設(shè)有石英內(nèi)槽，所述石英內(nèi)槽設(shè)有花籃，所述外槽設(shè)有多個對應(yīng)于所述石英內(nèi)槽的超聲波振子。

上述技術(shù)方案所述超聲波振子設(shè)有連接于所述外槽內(nèi)壁的三個。

上述技術(shù)方案三個所述超聲波振子分別對應(yīng)于所述花籃的下方和四周共5個方位中的任意三個。

上述技術(shù)方案三個所述超聲波振子分別對應(yīng)于所述花籃的下方、以及四周中的兩個對立方位。

上述技術(shù)方案所述外槽設(shè)有加熱裝置，所述加熱裝置用以加熱外槽水。

上述技術(shù)方案所述外槽設(shè)有冷卻裝置，所述冷卻裝置用以冷卻外槽水。

上述技術(shù)方案所述外槽包括鏤空安裝平臺，所述石英內(nèi)槽固定于所述鏤空安裝平臺。

上述技術(shù)方案所述石英內(nèi)槽的上端設(shè)有溢流口、以及對應(yīng)于所述溢流口的溢流槽。

上述技術(shù)方案所述溢流口為鋸齒形，所述溢流槽設(shè)有內(nèi)槽排液口。

上述技術(shù)方案所述石英內(nèi)槽設(shè)有花籃限位座，所述花籃限位連接于所述花籃限位座。

采用上述技術(shù)方案后，本實用新型具有以下積極的效果：

本實用新型利用超聲波可以穿透特定厚度石英的特性，采用雙層槽結(jié)構(gòu)，外槽設(shè)置成水浴槽，工件及藥液則在石英內(nèi)槽反應(yīng)。配置超聲波振子能夠利用水能傳導(dǎo)超聲波，穿透石英槽，使超聲波傳導(dǎo)至內(nèi)槽藥液中，對工件進(jìn)行超聲波清洗。此清洗過程中，超聲波振子不與石英內(nèi)槽內(nèi)的藥液直接接觸，可有效避免超聲波振子的腐蝕以及藥液的高溫影響，大大地延長了使用壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：外槽1、石英內(nèi)槽2、花籃3、超聲波振子4、鏤空安裝平臺11、溢流口21、溢流槽22、內(nèi)槽排液口23、花籃限位座5。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。通常在此處附圖中描述和示出的本實用新型實施例的組件可以以各種不同的配置來布置和設(shè)計。