[實用新型]反應腔用冷卻模組

有效

• 申請號: 202222510054.5
• 申請日: 2022-09-22
• 公開（公告）號: CN218154961U
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 林育荃;吳立勤
• 申請（專利權）人: 研創自動化設備（惠州）有限公司
• 主分類號: F25D1/02
• 分類號: F25D1/02;F25D23/00
• 代理公司: 北京力量專利代理事務所(特殊普通合伙) 11504
• 代理人: 李萱

一種反應腔用冷卻模組，包括：連接板及至少兩個冷卻板，連接板的一面開設有進水孔及出水孔，連接板的中部開設有連通通道，進水孔及出水孔相互間隔設置，連通通道的兩端分別與進水孔及出水孔連通，各冷卻板分別與連接板連接，各冷卻板環繞設置于連接板的外側，每一冷卻板開設有一冷卻水通道，冷卻水通道的兩端分別與連通通道連通。向進水孔導入冷卻水，通過連通通道導入各冷卻板的冷卻通道中，對各冷卻板進行冷卻，對安裝于各冷卻板上的反應腔進行冷卻，且冷卻水通過出水孔并排出，保證冷卻水通道內的冷卻水的冷卻效果，散熱效果好，同時對多個真空加工設備進行冷卻，各冷卻水通道統一通過進水孔及出水孔導入及導出，結構簡單緊湊，散熱效率高。

技術領域

本實用新型涉及冷卻設備技術領域，特別涉及一種反應腔用冷卻模組。

背景技術

在工業生產中，真空加工是一種常見的加工工藝，也就是說，在真空環境中進行加工，同時，由于許多真空加工都是在加熱環境中進行的，例如，鍍膜、蝕刻及表面改性等加工工藝，在加工過程中，需要進行散熱，冷卻模組可以用于對真空加工設備的反應腔進行散熱，從而達到加快真空加工設備降溫速度的效果。

然而，由于在真空環境下，熱導率會下降，也就是說，真空環境下，熱導率不如正常大氣環境下，現有的反應腔用冷卻模組結構存在結構復雜，散熱效率低的問題，因此，需要提供一種結構簡單且散熱效率好的反應腔用冷卻模組。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種反應腔用冷卻模組。

本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下：一種反應腔用冷卻模組，包括：

連接板，所述連接板的外側表面開設有進水孔及出水孔，所述連接板的中部開設有連通通道，所述進水孔及所述出水孔相互間隔設置，所述連通通道的兩端分別與所述進水孔及所述出水孔連通，所述連接板的外側表面開設有至少兩個第一導通孔及至少兩個第二導通孔，每一所述第一導通孔與一所述第二導通孔相互間隔設置，各所述第一導通孔及各所述第二導通孔分別與所述連通通道連通；及

至少兩個冷卻板，各所述冷卻板分別與所述連接板連接，各所述冷卻板環繞設置于所述連接板的外側，每一所述冷卻板的中部開設有一冷卻水通道，每一所述冷卻板的外側表面設置有導入孔及導出孔，每一所述導入孔及每一所述導出孔分別與一所述冷卻水通道的兩端連通，每一所述導入孔與一所述第一導通孔連通，每一所述導出孔與一所述第二導通孔連通。

在一個實施例中，每一所述冷卻板的外側表面設置有一凸出塊，各所述凸出塊分別與所述連接板連接。

在一個實施例中，還包括至少兩個進水管及至少兩個出水管，每一所述進水管與一所述導入孔的內側壁連接且與所述導入孔連通，每一所述出水管與一所述導出孔的內側壁連接且與所述導出孔連通，每一所述進水管設置于一所述第一導通孔內且與所述第一導通孔連通，每一所述出水管設置于一所述第二導通孔內且與所述第二導通孔連通。

在一個實施例中，所述冷卻板設置為兩個，兩個所述冷卻板以所述連接板的對稱中線呈鏡面對稱分布或以對稱中線上中點位置的平面法線呈中心對稱設置。

在一個實施例中，所述冷卻水通道為環形狀。

在一個實施例中，所述冷卻板為鋁冷卻板。

在一個實施例中，所述連接板為鋁連接板。

在一個實施例中，所述冷卻板為黃銅冷卻板。

在一個實施例中，所述連接板為黃銅連接板。

在一個實施例中，每一所述冷卻板開設有一凹槽。

與現有技術相比，本實用新型至少具有以下優點：