[實用新型]一種基于掃描探針顯微鏡的原位光電測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222501104.3
• 申請日: 2022-09-21
• 公開（公告）號: CN218122019U
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發(fā)明（設計）人: 李洋;劉躍;趙守鑫;孫昭媛;甄良;徐成彥
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業(yè)大學
• 主分類號: G01Q60/00
• 分類號: G01Q60/00;G01Q60/24;G01Q60/38
• 代理公司: 哈爾濱華夏松花江知識產權代理有限公司 23213
• 代理人: 侯靜

1.一種基于掃描探針顯微鏡的原位光電測試系統(tǒng)，其特征在于基于掃描探針顯微鏡的原位光電測試系統(tǒng)是由掃描探針顯微鏡系統(tǒng)和引光系統(tǒng)組成；

所述的掃描探針顯微鏡系統(tǒng)是由微懸臂梁(1)及其前端的導電納米探針(2)、第一激光器(3)、收集光束的光探測器(4)、控制系統(tǒng)(5)、樣品臺(6)、信號處理系統(tǒng)(7)和顯示器(8)組成；

控制系統(tǒng)(5)的信號輸出端分別與微懸臂梁(1)、導電納米探針(2)、樣品臺(6)和信號處理系統(tǒng)(7)的信號輸入端連接；信號處理系統(tǒng)(7)的信號輸出端與顯示器(8)的信號輸入端連接；光探測器(4)的信號輸出端與控制系統(tǒng)(5)的信號輸入端連接；導電納米探針(2)位于樣品臺(6)的上方；

所述的引光系統(tǒng)是由第二激光器(9)、鹵素燈(10)、衰減片(11)、反射鏡(12)、第一分光鏡(13)、長焦物鏡(14)、位移臺(15)、控制器(16)、第二分光鏡(17)和成像系統(tǒng)(18)組成；第二激光器(9)、鹵素燈(10)、衰減片(11)、反射鏡(12)、第一分光鏡(13)和長焦物鏡(14)均設置在位移臺(15)上；

控制器(16)的信號輸出端與位移臺(15)的信號輸入端連接；第二激光器(9)發(fā)射的激光依次通過衰減片(11)、第一分光鏡(13)透射、長焦物鏡(14)、第二分光鏡(17)的反射從樣品臺(6)的下方聚焦在載有樣品的透明基底上；鹵素燈(10)發(fā)射的白光依次通過反射鏡(12)、第一分光鏡(13)的反射、長焦物鏡(14)、第二分光鏡(17)的反射從樣品臺(6)的下方聚焦在載有樣品的透明基底上；從樣品表面反射后的激光和白光經(jīng)過第二分光鏡(17)透射到成像系統(tǒng)(18)上。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種基于掃描探針顯微鏡的原位光電測試系統(tǒng)，其特征在于所述的掃描探針顯微鏡系統(tǒng)為導電原子力顯微鏡。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種基于掃描探針顯微鏡的原位光電測試系統(tǒng)，其特征在于所述的掃描探針顯微鏡系統(tǒng)為開爾文探針顯微鏡。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種基于掃描探針顯微鏡的原位光電測試系統(tǒng)，其特征在于所述的掃描探針顯微鏡系統(tǒng)為壓電力顯微鏡。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種基于掃描探針顯微鏡的原位光電測試系統(tǒng)，其特征在于控制器(16)控制位移臺(15)在X、Y、Z三個方向移動，使得經(jīng)長焦物鏡(14)聚焦后的光斑能夠在樣品表面不同位置激發(fā)產生信號，從而實現(xiàn)原位光電測試。