[實用新型]一種適用于晶圓清洗的清洗噴頭

有效

• 申請號: 202222356403.2
• 申請日: 2022-09-05
• 公開（公告）號: CN218394955U
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發明（設計）人: 范銀波
• 申請（專利權）人: 蘇州珮凱科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 南京文宸知識產權代理有限公司 32500
• 代理人: 何苗

1.一種適用于晶圓清洗的清洗噴頭，包括：清潔室(1)，其特征在于：所述清潔室(1)內壁的一側活動安裝有出液管(2)，所述出液管(2)外表面的一端固定安裝有噴頭(201)，所述出液管(2)外表面的另一端固定安裝有保護環(605)，所述保護環(605)外表面的一側活動連接有入液管(7)，所述入液管(7)的外表面固定套設有壓力泵(202)，所述清潔室(1)外表面的一側固定安裝有支撐板(4)，所述支撐板(4)外表面的頂部固定安裝有電機(5)，所述電機(5)的輸出軸固定安裝有主軸(501)，所述主軸(501)外表面的一端活動安裝有次軸(502)。

2.根據權利要求1所述的一種適用于晶圓清洗的清洗噴頭，其特征在于：所述次軸(502)外表面的一端活動安裝有轉板(601)，所述轉板(601)的內部活動嵌設有固定柱(6)，所述固定柱(6)固定安裝在支撐板(4)外表面的一側，所述轉板(601)外表面的兩側均固定安裝有固定塊(602)。

3.根據權利要求2所述的一種適用于晶圓清洗的清洗噴頭，其特征在于：多個所述固定塊(602)的內部均活動嵌設有拉桿(603)，多個所述拉桿(603)外表面的另一端均活動嵌設有固定軸(604)。

4.根據權利要求3所述的一種適用于晶圓清洗的清洗噴頭，其特征在于：多個所述固定軸(604)固定連接在保護環(605)的外表面，所述入液管(7)外表面的另一端固定連接有清潔液倉(3)。

5.根據權利要求4所述的一種適用于晶圓清洗的清洗噴頭，其特征在于：所述清潔液倉(3)內壁的一側固定安裝有水位感應裝置(301)，所述清潔液倉(3)內壁的一側活動安裝有門軸(303)。

6.根據權利要求5所述的一種適用于晶圓清洗的清洗噴頭，其特征在于：所述門軸(303)的外表面固定套設有閉門(302)，所述閉門(302)與清潔液倉(3)的內壁活動連接。