[實用新型]用于長晶設備的過渡腔腔體、過渡腔腔門和過渡腔

有效

• 申請號: 202222318194.2
• 申請日: 2022-08-31
• 公開（公告）號: CN217997416U
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發明（設計）人: 趙樹明;王曉華;張坤;張登超
• 申請（專利權）人: 比亞迪股份有限公司;深圳比亞迪汽車實業有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447
• 代理人: 邵飛先

本公開涉及一種用于長晶設備的過渡腔腔體、過渡腔腔門和過渡腔，包括柱狀部、真空管和凸緣，柱狀部被構造為中空狀且軸向貫通，以形成腔體的腔壁，真空管從腔壁徑向向外延伸，以用于與真空裝置連接，真空管與腔體的內部連通，凸緣形成在柱狀部的第一軸端，凸緣從腔壁徑向向外延伸以與與腔門對接，其中，腔體構造為一體成型件。通過上述技術方案，過渡腔腔體一體化成型設計，其結構的集成度高，方便生產加工，降低了密封的難度，同時也降低密封泄露的風險。真空管了滿足長晶設備在作業時需要的真空狀態。凸緣使得過渡腔腔體以及過渡腔腔門能夠對接，以形成一個能夠密封作業的過渡腔。

技術領域

本公開涉及長晶領域，具體地，涉及一種用于長晶設備的過渡腔腔體、過渡腔腔門和過渡腔。

背景技術

長晶設備用于晶體的制備，在長晶反應套管中一般需要提供晶體生長的高溫以及具有特定氣體的低壓或真空環境，長晶平臺設置在長晶反應套管內，用作晶體析出后所依附的基板。長晶反應套管為了便于高溫的傳導，相關技術中一般選擇石英管，但是石英管難以直接與用于控制晶體成長環境的設備、例如真空裝置連接。因此需要設計有過渡腔方便調節長晶反應套管中的環境。

在相關技術的長晶設備中，過渡腔包括相對接的腔體、腔門。其中，腔體包括圓柱狀的腔壁、安裝在腔壁上的連接管等多個部件，腔門包括用于密封過渡腔和用于安裝長晶平臺的多個部件。在裝配時，這些加工件通過焊接、打磨、拋光成型或密封組裝形成過渡腔整體，但是由于過渡腔對真空環境要求較高，對焊接密封工藝和表面要求都提出了較高要求，裝配過程難以確保各環節都滿足要求，影響設備的真空裝配和抽真空過程。

實用新型內容

本公開目的是提供一種用于長晶設備的過渡腔腔體、過渡腔腔門，以及過渡腔，以至少部分地解決相關技術中存在的上述問題。

為了實現上述目的，本公開提供一種用于長晶設備的過渡腔腔體，包括：

柱狀部，包括圍合成為中空狀且軸向貫通的腔壁；

真空管，從所述腔壁徑向向外延伸，以用于與真空裝置連接，所述真空管與所述腔體的內部連通；以及

凸緣，形成在所述柱狀部的第一軸端，所述凸緣從所述腔壁徑向向外延伸以與腔門對接，

其中，所述腔體構造為一體成型件。

可選地，還包括形成在所述柱狀部的第二軸端的安裝板，所述安裝板從所述腔壁徑向向外延伸。

可選地，所述安裝板的背離所述柱狀部的端面開設有與所述柱狀部同軸的凹槽，所述凹槽用于放置密封環，其中，所述密封環用于在長晶反應套管與所述腔體對接后將二者密封。

可選地，所述腔壁中形成有第一冷卻通道。

可選地，所述腔壁中形成有與所述柱狀部同軸的環形的第一隔斷，以將所述腔壁分隔為第一外層冷卻室和第一內層冷卻室，所述第一外層冷卻室和所述第一內層冷卻室通過所述第一隔斷上的缺口連通，以形成所述第一冷卻通道；所述腔壁的外側徑向凸出有用于接入冷媒的第一接頭和第二接頭，所述第一接頭與所述第一外層冷卻室連通，所述第二接頭穿過所述第一外層冷卻室并與所述第一內層冷卻室連通。

可選地，所述柱狀部的第一軸端的內側壁面形成有用于與長晶反應套管對接的第一臺階。

可選地，所述凸緣的外邊緣形成有背離所述柱狀部凸出的擋邊。

根據本公開的第二個方面，提供一種用于長晶設備的過渡腔腔門，包括用于對接腔體的板狀的門體以及從所述門體的內側板面凸出延伸的軸套，所述腔門構造為一體成型件。

可選地，所述腔門中形成有從所述門體延伸至所述軸套的第二冷卻通道。