[實用新型]一種具有夾持機構的半導體檢測設備機箱

有效

• 申請號: 202222286257.0
• 申請日: 2022-08-30
• 公開（公告）號: CN218470579U
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 錢治民
• 申請（專利權）人: 蘇州丹卡精密機械有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01N21/01;H01L21/687
• 代理公司: 蘇州佳捷天誠知識產權代理事務所(普通合伙) 32516
• 代理人: 魏孝廉

本實用新型公開了一種具有夾持機構的半導體檢測設備機箱，包括箱體、預留腔、平臺承板、豎板、傳送帶本體和視覺檢測儀，所述箱體一側靠近頂部處開設有預留腔，所述預留腔內底部設置有平臺承板，所述平臺承板頂部靠近中央處通過豎板安裝有傳送帶本體，所述平臺承板頂部兩端均焊接有立板，所述立板頂端一側通過固定座安裝有第一伺服電缸，所述第一伺服電缸的動力輸出端連接有位移板，所述位移板相靠近處靠近頂部和底部處均焊接有固定板，所述固定板之間通過轉軸連接有導輥，所述預留腔內頂部焊接有頂板。該新型在檢測時具備多組夾持結構，在對半導體芯片進行夾持時的穩固效果佳，適合廣泛推廣使用。

技術領域

本實用新型涉及半導體檢測技術領域，特別涉及一種具有夾持機構的半導體檢測設備機箱。

背景技術

為了方便對半導體芯片表面進行視覺檢測，所以用于檢測的機箱是十分必要的。

專利號CN209591982U公開了一種半導體晶圓檢測的多功能設備箱，包括箱體，散熱孔，指示燈，放置機構，觀察窗，送料機構，萬向輪和急停開關，本實用新型的放置機構，送料機構和指示燈的設置，松開翼形螺栓，將筆記本等外接設備放置在支撐板，移動調節板使其抵觸外接設備，緊固翼形螺栓，使放置機構適用于不同寬度的外接設備，將鍵盤等放置在托盤上，便于操作人員進行外接設備的操作，提高用戶的舒適度，將半導體晶圓放置在放置板上，箱體內的機械手通過送料口將半導體晶圓搬運到箱體內進行檢測作業，保證檢測裝置平穩高效運行，指示燈通過導線與檢測機構相連，指示燈的不同顏色對應檢測機構的不同工作狀態，便于操作人員及時了解檢測裝置的工作狀態。

以往的設備機箱存在以下缺點：1、在檢測時不具備多組夾持結構，在對半導體芯片進行夾持時的穩固效果不佳。為此，我們提出一種具有夾持機構的半導體檢測設備機箱。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種具有夾持機構的半導體檢測設備機箱，可以有效解決背景技術中的問題。

為實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為：

一種具有夾持機構的半導體檢測設備機箱，包括箱體、預留腔、平臺承板、豎板、傳送帶本體和視覺檢測儀，所述箱體一側靠近頂部處開設有預留腔，所述預留腔內底部設置有平臺承板，所述平臺承板頂部靠近中央處通過豎板安裝有傳送帶本體，所述平臺承板頂部兩端均焊接有立板，所述立板頂端一側通過固定座安裝有第一伺服電缸，所述第一伺服電缸的動力輸出端連接有位移板，所述位移板相靠近處靠近頂部和底部處均焊接有固定板，所述固定板之間通過轉軸連接有導輥，所述預留腔內頂部焊接有頂板，所述頂板頂部兩側均通過安裝座安裝有第二伺服電缸，所述第二伺服電缸的動力輸出端連接有壓板。

進一步地，所述立板內壁靠近所述第一伺服電缸兩側處均通過預留槽設置有導筒，所述導筒內套設有導桿，所述導桿端部與位移板一端焊接連接，通過導筒對導桿的限位導向作用，可以有效提升位移板在水平移動時的穩定性。

進一步地，所述頂板頂部靠近兩組所述第二伺服電缸之間處通過固定槽安裝有視覺檢測儀，通過視覺檢測儀方便對夾持后的半導體芯片進行視覺檢測。

進一步地，所述箱體底部靠近拐角處均通過膠水固定有腳墊。

進一步地，所述頂板底部拐角處均焊接有支撐桿，所述支撐桿底部與平臺承板頂部焊接連接。

與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：

1.本實用新型一種具有夾持機構的半導體檢測設備機箱，第一伺服電缸在工作時方便帶動位移板水平移動，利用導輥方便對半導體芯片兩側進行夾持，第二伺服電缸在工作時動力輸出端方便帶動壓板下壓，利用壓板方便對半導體芯片頂部兩側進行夾持，本設備機箱在檢測時具備多組夾持結構，在對半導體芯片進行夾持時的穩固效果佳。

附圖說明

圖1為本實用新型一種具有夾持機構的半導體檢測設備機箱的整體結構示意圖。