[實用新型]一種旁通羅茨泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222285498.3
• 申請日: 2022-08-29
• 公開（公告）號: CN218760413U
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜勇;岳向成;高曉東
• 申請（專利權(quán)）人: 中科九微科技有限公司
• 主分類號: F04C18/12
• 分類號: F04C18/12;F04C25/02;F04C28/26;F04C29/12;F04C29/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 許天越

本實用新型提供一種旁通羅茨泵，包括：泵殼體，具有中空內(nèi)腔；兩個轉(zhuǎn)子，相互嚙合并轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述中空內(nèi)腔中，將所述中空內(nèi)腔分隔為進氣腔和排氣腔；所述泵殼體開設(shè)有第一通道和第二通道；第一通道與進氣腔和排氣腔兩者中一者連通，第二通道與進氣腔和排氣腔兩者中另一者連通；在第一通道和第二通道之間并聯(lián)設(shè)置有多個的第一單向閥；所述第一單向閥的流動方向為從排氣腔至進氣腔；至少兩個所述第一單向閥具有不同的開啟壓力。其克服了現(xiàn)有技術(shù)的旁通羅茨泵因其保護壓力和泄流流量不具備梯度而造成使用困境的缺陷，使保護壓力和泄流量具備相應(yīng)梯度，既防止羅茨泵過熱損壞，又減弱了旁通保護對抽氣效率的負面影響。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及抽真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種旁通羅茨泵。

背景技術(shù)

羅茨真空泵的優(yōu)點是在較低的入口壓力時具有較高的抽氣速率，但在出口壓力比入口壓力之差過大時，會使羅茨泵過熱，導(dǎo)致轉(zhuǎn)子膨脹卡死，電機燒壞。因而羅茨泵通常都不能單獨使用，必須有一臺前級真空泵串聯(lián)，待被抽氣系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時，羅茨泵才能開始工作，且不允許在高壓差下工作，以避免過載和過熱而損壞。但在使用過程中，因前后兩級泵工作不匹配或者其他意外情況，有時羅茨泵仍會面臨高壓差工況，故為了實現(xiàn)保護，便從排氣端向吸氣端設(shè)置旁通閥以減弱壓差。

但現(xiàn)有的旁通羅茨泵如果旁通保護過于靈敏、也就是開啟壓力較低及泄流流量較大時，則會因氣流偶爾的喘振造成氣壓不穩(wěn)而使旁通閥打開，使已經(jīng)抽出的空氣大量重新流入吸氣端，造成系統(tǒng)整體的抽氣效率降低；而旁通保護相對不靈敏、即開啟壓力較高或泄流流量較小時，則雖然避免了偶發(fā)喘振使旁通閥打開、減弱了旁通保護降低抽氣效率的問題，卻又提高了高壓差工況的出現(xiàn)概率，增加了羅茨泵過熱損壞的可能性。

實用新型內(nèi)容

因此，本實用新型要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的旁通羅茨泵因其保護壓力和泄流流量不具備梯度而造成使用困境的缺陷。

為解決上述技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┮环N旁通羅茨泵，包括：

泵殼體，具有中空內(nèi)腔；

兩個轉(zhuǎn)子，相互嚙合并轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述中空內(nèi)腔中，將所述中空內(nèi)腔分隔為進氣腔和排氣腔；

所述泵殼體開設(shè)有第一通道和第二通道；第一通道與進氣腔和排氣腔兩者中一者連通，第二通道與進氣腔和排氣腔兩者中另一者連通；

在第一通道和第二通道之間并聯(lián)設(shè)置有多個第一單向閥；所述第一單向閥在開啟后，氣體經(jīng)過所述第一單向閥的流動方向為從排氣腔至進氣腔；至少兩個所述第一單向閥具有不同的開啟壓力。

可選地，所述泵殼體包括：

殼主體；

旁通板，與殼主體密封連接，從而合圍成所述中空內(nèi)腔；旁通板設(shè)置在轉(zhuǎn)子的端部，并與轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動連接；第一通道與第二通道均開設(shè)在旁通板上。

可選地，第二通道包括縱向通道，縱向通道穿越兩個轉(zhuǎn)子軸心的連線，所述第一單向閥設(shè)置于縱向通道的一端，縱向通道的另一端通過開孔與進氣腔或排氣腔連通。

可選地，第二通道還包括橫向通道，橫向通道連通于縱向通道遠離所述開孔的一端，并平行于兩個轉(zhuǎn)子軸心的連線，第一通道與橫向通道平行設(shè)置，所述第一單向閥沿橫向通道的走向并列設(shè)置。

可選地，旁通板包括：

蓋板；

閥板；閥板的一面與殼主體密封連接；閥板在朝向殼主體的一面挖設(shè)有第一開槽，從而構(gòu)成第一通道；閥板在背離殼主體的一面挖設(shè)有第二開槽，并與蓋板密封連接，從而構(gòu)成第二通道。

可選地，第一通道位于橫向通道與旁通板的側(cè)邊之間。

可選地，所述第一單向閥包括：

階梯孔，設(shè)置于第一通道與第二通道之間；