[實用新型]一種靜葉片結(jié)構(gòu)及分子泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222281183.1
• 申請日: 2022-08-29
• 公開（公告）號: CN218439905U
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄧高飛;楊金亮;王浩為;張鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中科九微科技有限公司
• 主分類號: F04D29/54
• 分類號: F04D29/54;F04D19/04;F04D25/06
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 湯蕎赫

本實用新型提供一種靜葉片結(jié)構(gòu)，適于與動葉片分層交替設(shè)置，動葉片適于連接驅(qū)動電機(jī)軸系端，靜葉片結(jié)構(gòu)包括靜葉片內(nèi)環(huán)、若干間隔設(shè)置的葉齒和導(dǎo)引結(jié)構(gòu)，其中，靜葉片內(nèi)環(huán)一側(cè)適于放置動葉片；若干間隔設(shè)置的葉齒設(shè)置在靜葉片內(nèi)環(huán)徑向方向上的外周側(cè)；導(dǎo)引結(jié)構(gòu)設(shè)于靜葉片內(nèi)環(huán)軸向端面上，導(dǎo)引結(jié)構(gòu)具有若干導(dǎo)流通道；其中，導(dǎo)引結(jié)構(gòu)具有在驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動動葉片轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動的動葉片驅(qū)動氣體分子向葉齒間定向運(yùn)動時，引導(dǎo)靜葉片內(nèi)環(huán)表面上無序運(yùn)動的氣體分子沿著導(dǎo)流通道運(yùn)動的導(dǎo)引狀態(tài)，改變了靜葉片內(nèi)環(huán)表面氣體分子的無序運(yùn)動，進(jìn)而減少氣體分子反流，提高分子泵的抽氣性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及分子泵技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種靜葉片結(jié)構(gòu)及分子泵。

背景技術(shù)

分子泵工作在高真空環(huán)境中，在分子流態(tài)下，經(jīng)過葉片的氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于葉片通道的幾何尺寸，氣體分子就會較多地射向轉(zhuǎn)子和定子葉片，形成氣體分子的定向運(yùn)動。

現(xiàn)有技術(shù)中靜葉片分子泵流態(tài)的獲取是通過電機(jī)帶動軸系零部件，在動靜葉列組合狀態(tài)下，實現(xiàn)氣體分子的定向流動，并獲取相應(yīng)的高抽速與壓縮比，其中，如圖1所示，靜葉片包括內(nèi)環(huán)面a1。

但是上述的靜葉片分子泵，氣體分子通過射向的動葉片和靜葉片實現(xiàn)氣體分子的定向運(yùn)動時，存在部分氣體分子在靜葉片上下內(nèi)環(huán)面區(qū)域做無序運(yùn)動，進(jìn)而會產(chǎn)生較多反流，影響分子泵壓縮比，進(jìn)而影響分子泵的綜合抽氣性能。

實用新型內(nèi)容

因此，本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于現(xiàn)有技術(shù)中的靜葉片分子泵，氣體分子通過射向動葉片和靜葉片實現(xiàn)氣體分子的定向運(yùn)動時，存在部分氣體分子在靜葉片上下內(nèi)環(huán)面區(qū)域做無序運(yùn)動，進(jìn)而會產(chǎn)生較多反流，影響分子泵壓縮比，進(jìn)而影響分子泵的綜合抽氣性能。

為此，本實用新型提供一種靜葉片結(jié)構(gòu)，適于與動葉片分層交替設(shè)置，所述動葉片適于連接驅(qū)動電機(jī)軸系端，包括：

靜葉片內(nèi)環(huán)；

若干間隔設(shè)置的葉齒，設(shè)置在所述靜葉片內(nèi)環(huán)徑向方向上的外周側(cè)；

導(dǎo)引結(jié)構(gòu)，設(shè)于所述靜葉片內(nèi)環(huán)軸向端面上，所述導(dǎo)引結(jié)構(gòu)具有若干導(dǎo)流通道；

其中，所述導(dǎo)引結(jié)構(gòu)具有在驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動動葉片轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動的動葉片驅(qū)動氣體分子向葉齒定向運(yùn)動時，引導(dǎo)所述靜葉片內(nèi)環(huán)表面上無序運(yùn)動的氣體分子沿著導(dǎo)流通道運(yùn)動的導(dǎo)引狀態(tài)。

可選地，所述導(dǎo)引結(jié)構(gòu)為設(shè)置在所述靜葉片內(nèi)環(huán)軸向端面上的溝槽。

可選地，靜葉片結(jié)構(gòu)還包括加強(qiáng)筋，所述加強(qiáng)筋設(shè)于所述溝槽內(nèi)，以將所述溝槽分為多份。

可選地，所述溝槽通過加強(qiáng)筋等分為多份。

可選地，所述溝槽通過加強(qiáng)筋等分為4-16份。

可選地，所述導(dǎo)引結(jié)構(gòu)包括

第一導(dǎo)引結(jié)構(gòu)，設(shè)于所述靜葉片內(nèi)環(huán)第一端面上；

第二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)，設(shè)于所述靜葉片內(nèi)環(huán)第二端面上，所述第一端面與所述第二端面沿所述靜葉片內(nèi)環(huán)軸向相對設(shè)置。

可選地，所述第一導(dǎo)引結(jié)構(gòu)包括第一溝槽；

所述第二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)包括第二溝槽，所述第一溝槽與所述第二溝槽對氣體分子引導(dǎo)方向相同。

可選地，所述第一導(dǎo)引結(jié)構(gòu)包括第一溝槽；

所述第二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)包括第二溝槽，所述第一溝槽與所述第二溝槽對氣體分子引導(dǎo)方向相反。

可選地，靜葉片結(jié)構(gòu)還包括靜葉片外環(huán)，所述靜葉片外環(huán)設(shè)于所述葉齒外側(cè)，以支撐所述靜葉片內(nèi)環(huán)和所述葉齒，且隔離所述動葉片。