[實用新型]一種一體化石英導(dǎo)流筒

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222275931.5
• 申請日: 2022-08-29
• 公開（公告）號: CN217948328U
• 公開（公告）日: 2022-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高峰;高子富;高子豪
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽高昌硅碳科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 上海洞鑒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31346
• 代理人: 劉少偉

本實用新型公開了一種一體化石英導(dǎo)流筒，屬于導(dǎo)流筒技術(shù)領(lǐng)域，一種一體化石英導(dǎo)流筒，包括導(dǎo)流筒本體和存放箱，導(dǎo)流筒本體包括有石英內(nèi)導(dǎo)和石英蓋板，石英內(nèi)導(dǎo)和石英蓋板是一體成型結(jié)構(gòu)，石英內(nèi)導(dǎo)分別設(shè)置有上導(dǎo)段、中導(dǎo)段和下導(dǎo)段；本方案一體化技術(shù)完美的將石英蓋板與石英內(nèi)導(dǎo)實現(xiàn)了一次成型，解決了由于分體產(chǎn)品空隙而造成的二次污染問題，通過降低了污染源進(jìn)而大大的凈化了拉晶環(huán)境，避免污染影響硅棒和硅片的生產(chǎn)品質(zhì)，極大提高了單晶硅棒的品質(zhì)。一體化生產(chǎn)石英導(dǎo)流筒的生產(chǎn)時間更短，極大的節(jié)省了工廠以及用戶的時間成本；同時一體化生產(chǎn)石英導(dǎo)流筒更易實現(xiàn)批量采購，同時通過裝卸一體的石英導(dǎo)流筒產(chǎn)品，還可極大提高了工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及導(dǎo)流筒技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種一體化石英導(dǎo)流筒。

背景技術(shù)

硅是最常見應(yīng)用最廣的半導(dǎo)體材料，當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時，硅原子以金剛石晶格排列成晶核，其晶核長成晶面取向相同的晶粒，形成單晶硅。單晶硅作為一種比較活潑的非金屬元素晶體，是晶體材料的重要組成部分。石英導(dǎo)流筒是光伏產(chǎn)業(yè)設(shè)計的單晶硅提煉需要用到的主要配套產(chǎn)品，導(dǎo)流筒作為單晶爐中重要的組成部分，對晶體的生長有很大的影響，其在單晶爐中的主要作用是控制氬氣的流向來降低晶棒的溫度，形成有利于單晶生長的溫度梯度，同時主要用于拉制單晶硅棒時起到凈化隔熱的作用。

現(xiàn)有的導(dǎo)流筒產(chǎn)品是呈分體的態(tài)勢，主要將石英蓋板與石英內(nèi)導(dǎo)銜接在一起，在石英蓋板與石英內(nèi)導(dǎo)的銜接處，始終存在縫隙。即便在初期時產(chǎn)品的縫隙很小，但也會隨著產(chǎn)品的使用，所處的環(huán)境而變大。在單晶硅棒的拉制過程中，外部環(huán)境或用于隔熱的其他保溫材料(如：碳?xì)?，會隨著溫度揮發(fā)，微米級別的雜質(zhì)會隨著縫隙并伴隨著拉制過程中氬氣的流動，最終附著在硅液的表面甚至進(jìn)入硅液中，造成污染影響最終硅棒和硅片的品質(zhì)。并且現(xiàn)有分體的產(chǎn)品還需要分批采購，增加了客戶的時間成本，以及需要分別裝卸，對工作效率造成了浪費(fèi)。

因此，有必要提供一種一體化石英導(dǎo)流筒解決上述技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種一體化石英導(dǎo)流筒以解決上述技術(shù)問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下的技術(shù)方案：

一種一體化石英導(dǎo)流筒，包括導(dǎo)流筒本體，所述導(dǎo)流筒本體包括有石英內(nèi)導(dǎo)和石英蓋板，所述石英內(nèi)導(dǎo)和石英蓋板是一體成型結(jié)構(gòu)，所述石英內(nèi)導(dǎo)分別設(shè)置有上導(dǎo)段、中導(dǎo)段和下導(dǎo)段，所述中導(dǎo)段和位于上導(dǎo)段和下導(dǎo)段之間，所述上導(dǎo)段、中導(dǎo)段和下導(dǎo)段內(nèi)部均相互貫通，所述石英蓋板的內(nèi)圈和上導(dǎo)段上端面平滑對接，所述石英蓋板的外圈朝著遠(yuǎn)離石英內(nèi)導(dǎo)的方向延伸，所述石英蓋板的外徑大于上導(dǎo)段的外徑。

進(jìn)一步的，還包括有用于安置導(dǎo)流筒本體的存放箱，所述存放箱內(nèi)部設(shè)有存放腔和傳動腔，所述存放腔底部固定連接有多個放置筒和多個中間柱，所述導(dǎo)流筒本體可放置于放置筒內(nèi)，所述中間柱位于放置筒的中部，每個所述中間柱外壁均安裝有三個保護(hù)氣囊，所述傳動腔上壁安裝有儲存氣囊，所述傳動腔內(nèi)設(shè)有用于擠壓儲存氣囊的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括有轉(zhuǎn)動連接于傳動腔左右壁的轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸外壁固定連接有兩個第一錐齒輪，所述傳動腔的上壁轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿下端固定安裝有與第一錐齒輪相嚙合的第二錐齒輪，所述轉(zhuǎn)桿外壁設(shè)有螺紋并螺紋連接有擠壓板，所述擠壓板位于儲存氣囊下方。

進(jìn)一步的，所述中間柱內(nèi)部開設(shè)有導(dǎo)氣腔，所述中間柱外壁開設(shè)有多個第三氣孔，所述第三氣孔的兩端分別連通導(dǎo)氣腔和保護(hù)氣囊，所述中間柱底部開設(shè)有第二氣孔，所述傳動腔上壁開設(shè)有連通第三氣孔和儲存氣囊的第一氣孔。

進(jìn)一步的，所述放置筒上壁安裝有下緩沖墊，所述存放箱上壁鉸接有存放箱蓋板，所述存放箱蓋板上螺接有多個螺桿，每個所述螺桿的下端均轉(zhuǎn)動連接有下壓板，所述下壓板遠(yuǎn)離螺桿的一端安裝有上緩沖墊。

相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的優(yōu)點在于：