[實用新型]一種批量高溫退火碳化硅晶體裝置有效
| 申請號： | 202222270784.2 | 申請日： | 2022-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN217997414U | 公開（公告）日： | 2022-12-09 |
| 發明（設計）人： | 朱如忠;皮孝東;王蓉;張璽;張序清;楊德仁 | 申請（專利權）人： | 浙江大學杭州國際科創中心 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 杭州五洲普華專利代理事務所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 310000 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 批量 高溫 退火 碳化硅 晶體 裝置 | ||
1.一種批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：包括石墨支撐和石墨管，所述石墨支撐包括底座、與底座的上端相連的支架，支架內沿軸向平行放置有若干用于擺放碳化硅晶體的石墨盒，支架的一側開放用于石墨盒的取放，所述石墨管套設在支架外側，石墨管的下端可拆卸安裝在底座上，石墨管的上端可拆卸安裝有封蓋。
2.如權利要求1所述的批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：所述支架的內壁沿軸向平行設置有若干支撐部，所述石墨盒放置在支撐部上。
3.如權利要求2所述的批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：所述支架上同一高度平面的支撐部由若干間隔設置的子支撐部構成，所述石墨盒放置在子支撐部上。
4.如權利要求3所述的批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：所述支架上同一高度平面的支撐部由三個間隔設置的子支撐部構成，三個子支撐部連線呈三角形形狀。
5.如權利要求2所述的批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：所述石墨盒的外沿和支架內壁之間留有間隙。
6.如權利要求1所述的批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：所述支架為空心的半圓柱型支架或多邊形棱柱型支架。
7.如權利要求6所述的批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：所述支架為空心的半圓柱型支架。
8.如權利要求1所述的批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：所述石墨盒上端設有擺放碳化硅晶體用的凹槽。
9.如權利要求1至8中任一項所述的批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：所述底座的上端設有用于放置碳化硅原料的料槽，料槽的上方安裝有石墨環，石墨環沿軸向貫穿有通孔。
10.如權利要求9所述的批量高溫退火碳化硅晶體裝置，其特征在于：所述石墨支撐和石墨管的石墨密度不低于1.7g/cm3。
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