[實用新型]一種晶圓出盒導(dǎo)向保護(hù)結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202222221347.1 | 申請日: | 2022-08-23 |
| 公開(公告)號: | CN218333712U | 公開(公告)日: | 2023-01-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 黃振華 | 申請(專利權(quán))人: | 南昌同興達(dá)精密光電有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京中企鴻陽知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11487 | 代理人: | 蘇艷 |
| 地址: | 330000 江西省南昌市*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 晶圓出盒 導(dǎo)向 保護(hù) 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種晶圓出盒導(dǎo)向保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:包括底板(1),所述底板(1)的一側(cè)固定連接有兩個擋板(2),所述底板(1)的一側(cè)固定連接有與擋板(2)固定連接的兩個側(cè)板(3),所述底板(1)的一側(cè)設(shè)置有晶圓盒(4),所述晶圓盒(4)的內(nèi)部固定連接有若干個第一導(dǎo)向筋板(5),所述晶圓盒(4)的內(nèi)部設(shè)置有若干個晶圓盤(6),所述晶圓盒(4)的頂端設(shè)置有晶圓蓋(7),所述側(cè)板(3)的一側(cè)固定安裝有鉸鏈(8),所述鉸鏈(8)的一側(cè)固定安裝有導(dǎo)向板(9),所述導(dǎo)向板(9)的一側(cè)固定連接有若干個第二導(dǎo)向筋板(10),所述側(cè)板(3)的頂端固定連接有安裝塊(11),所述安裝塊(11)的一側(cè)設(shè)置有彈簧柱塞(12),所述導(dǎo)向板(9)的一側(cè)固定連接有定位板(13),所述定位板(13)的一側(cè)開設(shè)有定位孔(14)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓出盒導(dǎo)向保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述底板(1)的一側(cè)固定連接有墊塊(15)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓出盒導(dǎo)向保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述側(cè)板(3)的一側(cè)開設(shè)有轉(zhuǎn)動槽(16),所述轉(zhuǎn)動槽(16)的寬度大于導(dǎo)向板(9)的寬度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓出盒導(dǎo)向保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一導(dǎo)向筋板(5)與第二導(dǎo)向筋板(10)的數(shù)量相對應(yīng),所述第一導(dǎo)向筋板(5)與第二導(dǎo)向筋板(10)的位置相對應(yīng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓出盒導(dǎo)向保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述晶圓盒(4)的兩個側(cè)面與兩個側(cè)板(3)相貼合,所述晶圓盒(4)的兩個側(cè)面與兩個擋板(2)相貼合。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓出盒導(dǎo)向保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述彈簧柱塞(12)中柱頭與定位孔(14)相插接,所述彈簧柱塞(12)中柱頭與定位孔(14)的大小相適配。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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