[實用新型]一種半導體鋁板生產用打磨裝置

有效

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• 申請日: 2022-08-22
• 公開（公告）號: CN218254224U
• 公開（公告）日: 2023-01-10
• 發(fā)明（設計）人: 華巍;趙海龍
• 申請（專利權）人: 江蘇芯航東方科技有限公司
• 主分類號: B24B7/02
• 分類號: B24B7/02;B24B41/06;B24B47/16;B24B55/06;B24B55/12
• 代理公司: 蘇州越知橋知識產權代理事務所(普通合伙) 32439
• 代理人: 婁芳

本實用新型涉及一種半導體鋁板生產用打磨裝置，包括倉體，所述倉體的頂部固定安裝有架體，所述架體的內頂壁設置有打磨機構，所述倉體的內部設置有貫穿并延伸到倉體上方的移動機構，所述移動機構的頂部設置有收集機構，所述收集機構的頂部設置有定位機構，所述移動機構包括第一螺紋桿，所述第一螺紋桿的左側轉動連接在倉體的內壁左側，所述第一螺紋桿的右側轉動連接在倉體的內壁右側。該半導體鋁板生產用打磨裝置，通過設置移動機構，不僅便于帶動鋁板進行左右移動，而且穩(wěn)定性好，減少了在打磨時移動的情況發(fā)生，提高了打磨效率，降低了對鋁板品質造成的影響，從而具備高效打磨的優(yōu)點，方便了使用。

技術領域

本實用新型涉及鋁板生產技術領域，具體為一種半導體鋁板生產用打磨裝置。

背景技術

刻蝕是半導體制造工藝，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當重要的步驟，是與光刻相聯(lián)系的圖形化處理的一種主要工藝，這種設備需要極高精度的鋁板，鋁板是指用鋁錠軋制加工而成的矩形板材，分為純鋁板，合金鋁板，薄鋁板，中厚鋁板，花紋鋁板。

在對鋁板進行生產時，需要使用打磨裝置對鋁板進行打磨，工作人員先對鋁板進行定位，然后開啟打磨機構對鋁板進行打磨，雖然現(xiàn)有的打磨裝置便于帶動鋁板進行左右移動，可以對鋁板不同的位置進行打磨，但是穩(wěn)定性不佳，在打磨時可能會發(fā)生移動，降低了打磨效率，影響了鋁板品質，需要進行改進。

實用新型內容

針對現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供了一種半導體鋁板生產用打磨裝置，具備高效打磨等優(yōu)點，解決了現(xiàn)有的打磨裝置便于帶動鋁板進行左右移動，可以對鋁板不同的位置進行打磨，但是穩(wěn)定性不佳，在打磨時可能會發(fā)生移動，降低了打磨效率，影響了鋁板品質的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體鋁板生產用打磨裝置，包括倉體，所述倉體的頂部固定安裝有架體，所述架體的內頂壁設置有打磨機構，所述倉體的內部設置有貫穿并延伸到倉體上方的移動機構，所述移動機構的頂部設置有收集機構，所述收集機構的頂部設置有定位機構；

所述移動機構包括第一螺紋桿，所述第一螺紋桿的左側轉動連接在倉體的內壁左側，所述第一螺紋桿的右側轉動連接在倉體的內壁右側，所述倉體的內底壁轉動安裝有一端貫穿并延伸到倉體上方的蝸桿，所述第一螺紋桿的外部固定安裝有與蝸桿相嚙合的蝸輪，所述第一螺紋桿的外部且位于蝸輪的左側螺紋安裝有數(shù)量為兩個的螺紋套，兩個所述螺紋套均與第一螺紋桿相匹配，所述螺紋套的頂部固定安裝有移動柱，兩個所述移動柱的頂部均貫穿倉體并與收集機構固定連接。

進一步，所述打磨機構包括電動推桿，所述電動推桿固定連接在架體的內頂壁，所述電動推桿的輸出端固定安裝有電機，所述電機的輸出端固定安裝有連接桿，所述連接桿的底部固定安裝有打磨盤。

進一步，所述第一螺紋桿和蝸桿均通過軸承與倉體轉動連接，所述蝸桿的頂部固定安裝有手輪。

進一步，所述倉體的內底壁開設有限位槽，兩個所述螺紋套的底部均固定安裝有一端延伸到限位槽內部的限位桿，所述限位槽與兩個限位桿的移動范圍相匹配，所述倉體的頂部開設有移動孔，所述移動孔與兩個移動柱的移動范圍相匹配。

進一步，所述收集機構包括箱體，兩個所述移動柱的頂部均與箱體固定連接，所述箱體的內部固定安裝有過濾網，所述箱體的內底壁固定安裝有氣泵。

進一步，所述箱體的正面嵌設有箱門，所述箱體的頂部開設有數(shù)量為多個的吸氣孔，所述氣泵的進氣口連通有進氣管，所述氣泵的出氣口連通有一端貫穿并延伸到箱體左側的出氣管。

進一步，所述定位機構包括數(shù)量為兩個的豎板，兩個所述豎板均固定連接在箱體的頂部，所述豎板相對的一側固定安裝有橫板，所述豎板相對的一側且位于橫板的上方固定安裝有安裝板，所述安裝板的頂部螺紋安裝有一端貫穿并延伸到安裝板下方的第二螺紋桿，所述第二螺紋桿的底部固定安裝有定位板。