[實用新型]一種可變阻尼的主動防微振基座

有效

• 申請號: 202222210745.3
• 申請日: 2022-08-23
• 公開（公告）號: CN218440394U
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 高向東;孫樂;尤健;于超
• 申請（專利權）人: 大連地拓電子工程技術有限公司
• 主分類號: F16F9/53
• 分類號: F16F9/53;F16M11/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種可變阻尼的主動防微振基座，包括頂板、底座和外殼，所述外殼內部安裝有支撐板，所述外殼的頂部安裝有蓋板，所述頂板底部中間連接有推桿，所述推桿中間安裝有豎向磁流變體，所述豎向磁流變體兩側支撐板與蓋板之間安裝有豎向骨架，所述豎向骨架上安裝有線圈A，所述推桿底部連接有支撐框架，所述支撐框架內部安裝有橫向骨架，所述橫向骨架上安裝有線圈B，所述支撐框架與外殼之間連接有橫向磁流變體，所述頂板底部安裝有位置傳感器和速度傳感器，所述底座頂部安裝有控制器。本實用新型結構簡單，占地面積小，可根據振源大小改變系統阻尼，定位精確，隔振帶寬，對0.5Hz~150Hz的振動干擾具有較好的隔振效果。

技術領域

本實用新型涉及隔振裝置技術領域，具體是一種可變阻尼的主動防微振基座。

背景技術

目前半導體行業飛速發展，半導體生產設備的精度要求越來越高，設備對微振動等環境的要求也越來越敏感，少許的微振動就會降低設備的產出良率，甚至使設備不能正常工作，因此對微振動的隔離變得越來越重要。

由外部環境振動及設備內部反作用力引起的微振動是制約超精密儀器測量精度與超精密加工裝備制造精度的關鍵因素之一，高性能精密隔微振技術成為精密工程、超精密制造等領域的一項核心關鍵技術，對該技術的研究具有重要的實際意義與應用價值。振動控制部分是隔振平臺的核心，針對中高頻振動，多采用被動隔振，被動隔振結構簡單、工作可靠、不依賴電源，可以有效地隔絕中高頻振動干擾。針對低頻甚至或超低頻振動，多采用主動隔振。但是被動隔振一般適應于較簡單的工作環境，被動材料的阻尼和剛度一般是不可變的，不能隨著振動頻率的大小調整阻尼，難以應對復雜多變的工作環境，隔振效果較差，定位不夠精確。

實用新型內容

實用新型的目的在于提供一種可變阻尼的主動防微振基座，以解決上述背景技術中存在的問題。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種可變阻尼的主動防微振基座，包括頂板、底座和外殼，所述外殼內部安裝有支撐板，所述外殼的頂部安裝有蓋板，所述頂板底部中間連接有推桿，所述推桿中間安裝有豎向磁流變體，所述豎向磁流變體兩側支撐板與蓋板之間安裝有豎向骨架，所述豎向骨架上安裝有線圈A，所述推桿底部連接有支撐框架，所述支撐框架內部安裝有橫向骨架，所述橫向骨架上安裝有線圈B，所述支撐框架與外殼之間連接有橫向磁流變體，所述頂板底部安裝有位置傳感器和速度傳感器，所述底座頂部安裝有控制器。

進一步地，所述推桿穿過蓋板和支撐板與蓋板和支撐板滑動連接。

進一步地，所述支撐框架由鋁合金板制成矩形框體。

進一步地，所述頂板由不銹鋼板制成圓形結構。

進一步地，所述底座由鋁合金板制成圓形結構。

進一步地，所述外殼由鋁合金板制成圓筒形。

進一步地，所述支撐板、蓋板均由鋁合金板制成圓形結構。

進一步地，所述控制器通過電纜與線圈A、線圈B、位置傳感器、速度傳感器連接。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型通過改變線圈B電流大小改變橫向磁場強度，從而改變磁流變體的力學特性，磁場強度越大，橫向磁流變體的形變越大，系統垂向阻尼越大，從而提高系統的隔振帶寬；另外通過改變線圈A電流大小改變豎向磁場強度，從而改變豎向磁流變體的形變，實現豎向驅動隔振。本實用新型結構簡單，占地面積小，可根據振源大小改變系統阻尼，定位精確，隔振帶寬，對0.5Hz~150Hz的振動干擾具有較好的隔振效果。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。