[實用新型]低氧超高純砷棒成型裝置

有效

• 申請號: 202222190310.7
• 申請日: 2022-08-19
• 公開（公告）號: CN218059139U
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 陳方平;張吉林;劉允華;吳才順;鄒同貴
• 申請（專利權）人: 峨眉山嘉美高純材料有限公司
• 主分類號: C22B9/05
• 分類號: C22B9/05;C22B30/04;C22B9/04;B22C9/22
• 代理公司: 蘇州中合知識產權代理事務所(普通合伙) 32266
• 代理人: 李斌

1.低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：包括支架、安裝在支架上的砷棒成型爐膽；所述砷棒成型爐膽包括爐體，爐體的內部形成爐腔；所述爐腔內安裝有成型模具固定座，成型模具固定座上設置有安裝槽，用于安裝砷棒成型模具；所述爐體的外側還設置有氣體管路組件，氣體管路組件與爐腔連通，用于對爐腔中的氣體進行控制；所述支架還安裝有平轉機構，平轉機構與砷棒成型爐膽聯接，用于驅動砷棒成型爐膽平轉；所述支架還安裝有加熱機構，加熱機構與砷棒成型爐膽配合，用于對砷棒成型爐膽加熱。

2.根據權利要求1所述的低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：所述氣體管路組件包括與爐腔連通的氣體管路匯流排；所述氣體管路匯流排連接有抽真空管路、惰性氣體加壓管路、尾氣排放管路；所述抽真空管路上設置有真空控制閥，所述惰性氣體加壓管路上設置有加壓控制閥門；所述尾氣排放管路上設置有排放閥門。

3.根據權利要求2所述的低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：所述成型裝置還包括控制模塊；所述真空控制閥、加壓控制閥門、排放閥門為可響應于控制模塊的控制命令而開關動作的閥門；所述爐體還設置有用于監測爐腔壓力的壓力傳感器；所述控制模塊被配置為：響應于抽真空指令，控制真空控制閥打開；響應于平轉指令，控制平轉機構啟動；響應于加壓指令，控制真空控制閥關閉，并控制加壓控制閥門打開，接收壓力傳感器監測的爐腔壓力數據，在壓力值到達第一設定值時，控制加壓控制閥門關閉；響應于出爐指令，控制排放閥門打開。

4.根據權利要求3所述的低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：所述氣體管路組件還包括安全保護管路，所述安全保護管路上還設置有安全閥；所述安全閥為可響應于控制模塊的控制命令而開關動作的閥門；所述控制模塊還被配置為：接收壓力傳感器監測的爐腔壓力數據，在壓力值到達第二設定值時，控制安全閥打開。

5.根據權利要求1-4中任意一項所述的低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：所述爐體頂部開口，并在開口處安裝有爐蓋；爐蓋與爐體通過連接件連接；爐蓋與爐體之間還設置有密封件；所述爐體的側壁在靠近頂部開口的區域還設置有冷卻機構。

6.根據權利要求3所述的低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：所述加熱機構包括加熱部，加熱部內形成上下開口的加熱通道；所述加熱通道與砷棒成型爐膽配合，用于對砷棒成型爐膽加熱。

7.根據權利要求6所述的低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：所述加熱機構還包括安裝于加熱部的溫度傳感器，溫度傳感器的工作端靠近加熱通道；所述控制模塊還被配置為：接收溫度傳感器監測的溫度數據，按照設定的溫度參數控制加熱部加熱。

8.根據權利要求6或7所述的低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：所述成型裝置還包括安裝于支架的升降機構；所述加熱機構與升降機構的升降移動端固定。

9.根據權利要求8所述的低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：所述升降機構包括安裝于支架的絲桿組件、用于驅動絲桿的升降驅動元件、與絲桿螺母固定的安裝架，該安裝架作為升降機構的升降移動端與加熱機構固定。

10.根據權利要求1所述的低氧超高純砷棒成型裝置，其特征在于：所述成型模具固定座包括固定座體；所述固定座體的頂側開有多個孔，孔用于作為安裝槽，放置砷棒成型模具。