[實用新型]一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器和薄膜體聲波濾波器

有效

• 申請號: 202222169708.2
• 申請日: 2022-08-17
• 公開（公告）號: CN218734232U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 閆鑫;張智欣;陳長娥
• 申請（專利權）人: 北京航天微電科技有限公司
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17;H03H9/02
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 牟森

1.一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，包括層疊設置的支撐襯底、壓電層、第一電極層、第二電極層和鈍化層，所述支撐襯底設有凹槽，所述壓電層覆設在所述凹槽上，形成空腔，所述壓電層的位于所述空腔內的表面上設有第一電極層，所述第一電極層內包覆有溫度補償層，且所述第一電極層與所述支撐襯底非接觸；所述第二電極層包括相互分離的第一局部電極層和第二局部電極層，第一局部電極層與壓電層之間通過第一導電焊盤電連接，所述第二局部電極層與第一電極層之間通過第二導電焊盤電連接。

2.根據權利要求1所述的一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述溫度補償層的材質為二氧化硅、鉻、氧化碲或摻硼的二氧化硅。

3.根據權利要求1所述的一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述支撐襯底的材質為硅、鍺、氮化鎵、砷化鎵、藍寶石、石英或碳化硅。

4.根據權利要求1所述的一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述壓電層的材質為氮化鋁、鈮酸鋰或鉭酸鋰。

5.根據權利要求1所述的一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述第一電極層的材質為鉬、銅、鎢、金、鈦、鋁和鉑中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述第二電極層的材質為鉬、銅、鎢、金、鈦、鋁和鉑中的至少一種。

7.根據權利要求1所述的一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述鈍化層的材質為二氧化硅或氮化鋁。

8.根據權利要求1所述的一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述第一導電焊盤的材質為銅、鎢、金、鈦、鋁和銀中的至少一種。

9.根據權利要求1所述的一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述第二導電焊盤的材質為銅、鎢、金、鈦、鋁和銀中的至少一種。

10.一種薄膜體聲波濾波器，其特征在于，包括權利要求1至9任一項所述的一種溫度補償型的薄膜體聲波諧振器。