[實(shí)用新型]一種光學(xué)鏡片受點(diǎn)膠應(yīng)力影響的性能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222156829.3
• 申請(qǐng)日: 2022-08-16
• 公開（公告）號(hào): CN218067628U
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘永成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 理波光電科技（無錫）有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/21
• 分類號(hào): G01N21/21;G01N21/01
• 代理公司: 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32228
• 代理人: 過顧佳

本申請(qǐng)公開了一種光學(xué)鏡片受點(diǎn)膠應(yīng)力影響的性能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，該系統(tǒng)搭建相互交叉的干涉光路和偏振光路，第一五維電動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在第一旋轉(zhuǎn)電動(dòng)平臺(tái)上，第一五維電動(dòng)平臺(tái)的表面形成為點(diǎn)膠工位用于放置待點(diǎn)膠組裝的鏡片底座及其上的光學(xué)鏡片，光學(xué)鏡片置于干涉光路和偏振光路的交叉位置，使得在點(diǎn)膠工位處執(zhí)行點(diǎn)膠操作時(shí)可以直接利用搭建的光路實(shí)時(shí)觀察點(diǎn)膠固化過程對(duì)光學(xué)鏡片性能的影響，便于及時(shí)調(diào)整點(diǎn)膠操作，性能監(jiān)測(cè)的實(shí)時(shí)性較好；且由第一五維電動(dòng)平臺(tái)和第一旋轉(zhuǎn)電動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)光學(xué)鏡片在光路中的調(diào)整，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別電動(dòng)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精度高，而且調(diào)節(jié)方式簡(jiǎn)單。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種光學(xué)鏡片受點(diǎn)膠應(yīng)力影響的性能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著科技的進(jìn)步越來越快，半導(dǎo)體和醫(yī)療設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光學(xué)鏡片的精度要求也越來越高，光學(xué)鏡片在應(yīng)力作用下會(huì)由各向同性介質(zhì)變?yōu)楦飨虍愋越橘|(zhì)，通過光學(xué)鏡片的光就會(huì)產(chǎn)生光的雙折射，影響成像質(zhì)量和光學(xué)系統(tǒng)的精度。

除了光學(xué)鏡片的材質(zhì)本身的內(nèi)應(yīng)力的作用之外，在將光學(xué)鏡片組裝到鏡片底座上時(shí)需要對(duì)兩者的接觸位置進(jìn)行點(diǎn)膠，而點(diǎn)膠固化過程產(chǎn)生的應(yīng)力也會(huì)對(duì)光學(xué)鏡片的性能產(chǎn)生影響。點(diǎn)膠固化產(chǎn)生的應(yīng)力不僅會(huì)導(dǎo)致組裝完成后光學(xué)鏡片出現(xiàn)雙折射現(xiàn)象而影響光學(xué)鏡片的面型精度，還會(huì)影響光學(xué)鏡片的偏振態(tài)。

不同的點(diǎn)膠工藝參數(shù)會(huì)導(dǎo)致點(diǎn)膠固化對(duì)光學(xué)鏡片的性能所產(chǎn)生的影響都不同，目前通常按照人工經(jīng)驗(yàn)來確定使用的膠水、點(diǎn)膠量和點(diǎn)膠位置等點(diǎn)膠工藝操作，然后點(diǎn)膠固定完成組裝后，搭建光路測(cè)試組裝完成的光學(xué)鏡片的面型精度，再搭建光路測(cè)試組裝完成的光學(xué)鏡片的偏振態(tài)，若不符合指標(biāo)要求則再返工重新組裝，整體組裝測(cè)試的過程較長(zhǎng)，而且組裝完成后檢測(cè)再返工的做法也效率較低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請(qǐng)人針對(duì)上述問題及技術(shù)需求，提出了一種光學(xué)鏡片受點(diǎn)膠應(yīng)力影響的性能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，本申請(qǐng)的技術(shù)方案如下：

一種光學(xué)鏡片受點(diǎn)膠應(yīng)力影響的性能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，在該性能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，第一五維電動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在第一旋轉(zhuǎn)電動(dòng)平臺(tái)上，第一五維電動(dòng)平臺(tái)的表面形成為點(diǎn)膠工位，待點(diǎn)膠組裝的光學(xué)鏡片設(shè)置在鏡片底座上并置于第一五維電動(dòng)平臺(tái)表面的點(diǎn)膠工位處；

干涉儀和標(biāo)準(zhǔn)鏡對(duì)向設(shè)置形成干涉光路；激光光源、光闌、半玻片、第一偏振器、第二偏振器以及第二光功率探頭依次設(shè)置形成偏振光路；干涉光路和偏振光路相互交叉，且光學(xué)鏡片同時(shí)位于干涉光路和偏振光路上，光學(xué)鏡片在干涉光路上位于干涉儀和標(biāo)準(zhǔn)鏡之間，光學(xué)鏡片在偏振光路上位于第一偏振器和第二偏振器之間；

上位機(jī)連接干涉儀、第一運(yùn)動(dòng)控制器和功率計(jì)，第一運(yùn)動(dòng)控制器連接并控制第一五維電動(dòng)平臺(tái)和第一旋轉(zhuǎn)電動(dòng)平臺(tái)，功率計(jì)連接第二光功率探頭。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，標(biāo)準(zhǔn)鏡設(shè)置在第二五維電動(dòng)平臺(tái)上，第一運(yùn)動(dòng)控制器還連接并控制第二五維電動(dòng)平臺(tái)。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，第二偏振器設(shè)置在第二旋轉(zhuǎn)電動(dòng)平臺(tái)上，上位機(jī)還連接第二運(yùn)動(dòng)控制器，第二運(yùn)動(dòng)控制器連接并控制第二旋轉(zhuǎn)電動(dòng)平臺(tái)。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，光闌和半玻片之間還設(shè)置分光棱鏡，分光棱鏡的一路出射光入射半玻片、另一路出射光入射第一光功率探頭，功率計(jì)還連接第一光功率探頭。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，性能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)還包括UV照射光源及其連接的UV導(dǎo)光光纖束，UV導(dǎo)光光纖束的出光口朝向光學(xué)鏡片與鏡片底座之間的點(diǎn)膠位置，上位機(jī)連接UV照射光源。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，UV導(dǎo)光光纖束固定在可調(diào)支架上，UV導(dǎo)光光纖束與點(diǎn)膠位置之間的垂直距離、水平距離、出光角度可調(diào)。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，性能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中的器件設(shè)置在防震臺(tái)上，防震桌面包括防震桌腿及其支撐的臺(tái)面。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，性能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)還包括顯示屏，上位機(jī)連接顯示屏。