[實用新型]劃片機

有效

• 申請號: 202222155456.8
• 申請日: 2022-08-16
• 公開（公告）號: CN218286217U
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 于光明;尹冰濤;劉炳先;孫志超
• 申請（專利權）人: 江蘇京創先進電子科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/00
• 代理公司: 南京艾普利德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32297
• 代理人: 顧祥安

本實用新型揭示了劃片機，包括工作臺，工作臺可平移地設置在導軌上，工作臺的相對的兩側設置有伸縮防護罩，伸縮防護罩跟隨工作臺的移動進行伸縮，伸縮防護罩的下方間隙設置分布在其兩側的托板，托板由伸縮防護罩的外側延伸到伸縮防護罩的內側，每個伸縮防護罩的底部設置有兩排滾輪，每排滾輪與托板延伸到伸縮防護罩內側的部分位置對應，滾輪的軸線與所述伸縮防護罩的伸縮方向垂直。本實用新型通過在伸縮防護罩底部設置與兩側的托板對應的兩排滾輪，從而在伸縮防護罩因重力下垂時，使得滾輪與托板接觸從而避免伸縮防護罩與托板的接觸，有效地降低了工作臺平移時的噪音，同時，能夠對所述伸縮防護罩進行防護，避免伸縮防護罩磨損。

技術領域

本實用新型涉及半導體加工設備領域，尤其是劃片機。

背景技術

在劃片機中，劃片工作臺需要沿導軌平移以便于上下料或切割，在切割時，需要噴水進行冷卻、清洗等，因此，在劃片工作臺相對的兩側設置伸縮防護罩以避免噴出的水或水霧流到導軌、絲杠等部件處。

由于所述伸縮防護罩是柔性的，其會在重力作用下出現下垂的情況，因此，在所述劃片工作臺高速移動時，伸縮防護罩下垂的部分會與伸縮防護罩下方間隙設置的鈑金件發生摩擦，從而產生尖銳的噪音，同時也增加了伸縮防護罩損壞的風險。

實用新型內容

本實用新型的目的就是為了解決現有技術中存在的上述問題，提供一種劃片機。

本實用新型的目的通過以下技術方案來實現：

劃片機，包括工作臺，所述工作臺可平移地設置在導軌上，所述工作臺的相對的兩側設置有伸縮防護罩，所述伸縮防護罩跟隨所述工作臺的移動進行伸縮，所述伸縮防護罩的下方間隙設置分布在其兩側的托板，所述托板由所述伸縮防護罩的外側延伸到所述伸縮防護罩的內側，每個所述伸縮防護罩的底部設置有兩排滾輪，每排滾輪與所述托板延伸到所述伸縮防護罩內側的部分位置對應，所述滾輪的軸線與所述伸縮防護罩的伸縮方向垂直。

優選的，所述劃片機中，每排所述滾輪為三個且等間距設置。

優選的，所述劃片機中，每個所述滾輪安裝在所述伸縮防護罩的支撐板上。

優選的，所述劃片機中，所述滾輪為軟質輪。

優選的，所述劃片機中，所述托板包括與所述滾輪位置對應的平板以及位于所述平板外側且向下傾斜的斜板，所述斜板與所述平板的銜接邊位于所述伸縮防護罩的內側。

優選的，所述劃片機中，所述托板包括與所述滾輪位置對應的滾動槽。

優選的，所述劃片機中，所述伸縮防護罩的兩側還設置有防水霧擋板，所述防水霧擋板包括呈鈍角設置的第一平板和第二平板，所述第一平板豎直安裝在所述托板的外側，所述第二平板位于所述第一平板的上方且向所述伸縮防護罩方向傾斜且與伸縮防護罩保持間距。

優選的，所述劃片機中，所述第一平板和第二平板的夾角在150°-170°之間。

優選的，所述劃片機中，所述第二平板的上端與所述伸縮防護罩之間的間距在0.5-1毫米之間。

優選的，所述劃片機中，所述防水霧擋板還包括與所述第一平板垂直且位于所述第一平板底部的連接板，所述連接板連接所述托板。

本實用新型技術方案的優點主要體現在：

本實用新型通過在伸縮防護罩底部設置與兩側的托板對應的兩排滾輪，從而在伸縮防護罩因重力下垂時，使得滾輪與托板接觸從而避免伸縮防護罩與托板的接觸，有效地降低了工作臺平移時的噪音，同時，能夠對所述伸縮防護罩進行防護，避免伸縮防護罩磨損。

本實用新型通過對滾輪的位置及數量的設計，能夠以盡可能少的滾輪來保證對伸縮防護罩的支撐性，避免伸縮防護罩與托板接觸。