[實用新型]一種多晶硅片的切割設備有效
| 申請號: | 202222141845.5 | 申請日: | 2022-08-15 |
| 公開(公告)號: | CN219311676U | 公開(公告)日: | 2023-07-07 |
| 發明(設計)人: | 何飛;方藝霖;張靖 | 申請(專利權)人: | 江蘇德潤光電科技有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/00 | 分類號: | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 225600 江蘇省揚州市高*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 硅片 切割 設備 | ||
1.一種多晶硅片的切割設備,包括工作臺(1),其特征在于:所述工作臺(1)的頂部兩側固定連接有相互對稱的豎板(2),一側所述豎板(2)的內側上部固定安裝有電動推桿(3),所述電動推桿(3)的輸出端固定連接有驅動塊(4),所述驅動塊(4)上固定安裝有升降氣缸(5),所述升降氣缸(5)的輸出端固定安裝有切割設備本體(6),所述工作臺(1)的頂部固定安裝有推動氣缸(7),所述推動氣缸(7)的輸出端固定安裝有切割臺(8),所述切割臺(8)位于所述切割設備本體(6)的正下方,一側所述豎板(2)的外側設置有清理組件(9)。
2.根據權利要求1所述的一種多晶硅片的切割設備,其特征在于:所述清理組件(9)包括鼓風機(91)、出風管(92)以及出風罩(93),所述鼓風機(91)固定安裝在一側所述豎板(2)的外側,所述出風管(92)固定連接在所述鼓風機(91)的出風口,所述出風管(92)的另一端延伸進所述豎板(2)的內側并與所述出風罩(93)固定連接。
3.根據權利要求1所述的一種多晶硅片的切割設備,其特征在于:兩組所述豎板(2)之間位于所述電動推桿(3)的下方固定連接有滑桿(10),所述滑桿(10)貫穿所述驅動塊(4),所述滑桿(10)與所述驅動塊(4)滑動桿連接,所述滑桿(10)的正面等距設置有刻度標識(11)。
4.根據權利要求1所述的一種多晶硅片的切割設備,其特征在于:所述切割臺(8)的頂部設置有防滑墊(12),所述防滑墊(12)的材質為橡膠防滑墊。
5.根據權利要求1所述的一種多晶硅片的切割設備,其特征在于:所述工作臺(1)的頂部固定安裝有對稱平行的兩組滑軌(13),所述切割臺(8)位于兩組所述滑軌(13)的頂部并與兩組所述滑軌(13)滑動配合。
6.根據權利要求1所述的一種多晶硅片的切割設備,其特征在于:所述豎板(2)的內側下部與所述工作臺(1)的頂部之間固定焊接有加強筋板(14)。
7.根據權利要求1所述的一種多晶硅片的切割設備,其特征在于:所述工作臺(1)的底部四角處均固定連接有支撐腿(15)。
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